판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-200Z #9278993

ID: 9278993
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
Batch wafer processor, 8" Dry-in / Dry-out Install type: Thru-The-Wall (TTW) Automated load / Unload Bath: 1: Citric 2: POU (Point Of Use, configurable) 3: SD2 (HF / IPA Dry) Typical process flow: Citric -> POU (QDR) ->SD2 Includes: Fire suppression system UPS For computer only (installed on tool) UPS For full system (stand-alone unit) 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-200Z (TEL/TOKYO ELECTRON UW-200Z) 는 높은 자동화 정도로 인해 반도체 제조업체에서 인기있는 습식 스테이션입니다. 습식 "스테이션 '으로서, 이것 은 화학" 에칭' 공정 에 사용 되도록 설계 되었는데, 이것 은 반도체 "웨이퍼 '에서 재료 를 제거 하는 데 사용 되는 공정 이다. TEL UW200Z는 단일 프로세스에서 여러 웨이퍼를 수용하도록 설계된 본격적인 습식 스테이션입니다. 독특한 설계는 움직이는 플랫폼에서 고정된 메인프레임 (mainframe) 을 특징으로하며, 습식 스테이션 (wet station) 은 한 번에 여러 웨이퍼를 처리하기 위해 스테이션 사이를 빠르게 이동할 수 있습니다. 이것 은 "에칭 '공정 에 필요 한 수작업 의 양 을 감소 시키는, 더 높은 정도 의 자동화 를 가능 케 한다. TOKYO ELECTRON UW 200 Z에는 스테이션 간 자동 이동을 위해 구성 할 수있는 앱 기반 인터페이스가 있습니다. "앱 '은 또한 화학 식각 절차 에 필요 한 정확 한 공정" 파라미터' 를 결정 하는 데 사용 할 수 있는 조리법 으로 적재 될 수 있다. 스테이션은 단일 사용자가 운영 할 수 있으며, 한 번에 최대 4 개의 공정 탱크 (process tank) 를 제공할 수 있습니다. 습식 스테이션 (Wet Station) 에는 경보 장비, 로터리 잠금 장치, 머스터링 시스템 등 최신 안전 기술이 있습니다. "머스터링 '장치 는" 스테이션' 이 종점 에 다다를 때 들 수 있는 통지 를 받을 수 있게 해 준다. 또한, "스테이션 '은 화학 증기 가 소멸 되는 것 을 막기 위하여 환기 장치 를 갖추고 있다. UW 200 Z는 인상적인 처리 속도를 가진 신뢰할 수있는 습식 스테이션입니다. 단일 배치 내에서 최대 4 개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으며, 연속 생산을 위해 지속적으로 배치를 반복하도록 설정할 수 있습니다. 스테이션은 AC100V - 220V 전원으로 구동되며, 클린 룸 (clean room) 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 전반적으로, TEL UW 200 Z는 신뢰할 수있는 습식 스테이션으로, 여러 웨이퍼의 자동 화학 에칭에 적합합니다. 자동화된 이동, 애플리케이션 제어 인터페이스 (app-controlled interface), 안전 (safety) 기능을 포함한 고급 기능을 통해 반도체 제품을 제조하는 데 적합합니다.
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