판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353550

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 반도체 처리에 사용되는 일종의 반도체 장치 제작 장비 인 습식 스테이션입니다. CVD (chemical vapor deposition), ECD (electro-chemical deposition), PVD (physical vapor deposition) 등과 같은 여러 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 주로 집적 회로 (IC) 칩 생산에 사용됩니다. 습식 "스테이션 '은 고급" 반도체' 기술 의 수요 를 충족 시키도록 설계 되었으며, 생산 공정 의 여러 가지 필요 를 충족 시킬 수 있는 여러 가지 옵션 을 갖추고 있다. 습식 스테이션의 핵심 시스템은 프로세서, 컨트롤러 및 HMI (Human-Machine Interface) 로 구성되어 운영자가 프로세스 단계를 수동으로 제어할 수 있습니다. 프로세서와 컨트롤러는 프로세스 (process) 를 제어하는 다양한 매개변수를 제어하고 프로세스 (process) 동안 다른 매개변수를 조정하는 역할을 합니다. 여기에는 전체 웨이퍼에서 프로세스의 균일성을 보장하기 위해 올바른 온도 (temperature) 및 압력 (pressure) 값을 설정하는 것이 포함됩니다. HMI 는 운영자가 프로세스 환경을 설정하고 필요한 프로세스를 실행할 수 있도록 합니다. 프로세서 (processor) 와 컨트롤러 (controller) 외에도, 습식 스테이션에는 IC 칩의 프로세서성과 성능에 영향을 줄 수있는 원치 않는 오염 물질을 제거하는 다양한 클리닝 시스템이 있습니다. 이러 한 "시스템 '은 특정 한 목적 을 염두 에 두고 설계 되었으며, 여과 된" 가스', 특수 용제, "에어로졸 '및 기타 청소제 를 사용 할 수 있다. 프로세스 제어를 위해 TEL Expedius는 다양한 도량형 장비를 사용합니다. 여기에는 광학 검사 도구, 가스 아토마이저 및 다양한 유형의 프로파일 측정 도구가 포함됩니다. 계측 장비는 프로세스 결과 (예: 패턴 특성, 레이어 두께) 를 측정하는 데 사용됩니다. 그런 다음 이 정보를 사용하여 프로세스 매개변수 (필요한 경우) 를 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Expedius는 화재 감지, 온도 및 압력 센서, 공기 흐름 센서 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이러한 모든 조치는 운영자에게 안전하고 안전한 작업 환경을 제공하도록 설계되었습니다 (영문). Expedius는 강력하고 신뢰할 수있는 젖은 스테이션입니다. 프로세스 제어가 정확한 고품질 IC 칩을 생산할 수 있습니다. 프로세스 옵션 (process options) 과 도량형 장비 (metrology equipment) 의 범위를 통해 연산자는 균일하고 정확한 출력을 만들 수 있습니다. 안전 (Safety) 기능은 운영자의 안전한 작업 환경을 보장하는 반면, 장치 자체는 효율적인 IC 칩 생산을 위해 강력하고 안정적인 성능을 제공합니다.