판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353547

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 TEL Limited (TOKYO ELECTRON) 가 개발 한 우수한 습식 스테이션 장비입니다. 반도체 장치 제조업체의 기술 호환성, 자동화, 유연성, 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. TEL 엑스페디우스 (TEL Expedius) 습식 스테이션 시스템은 반도체 산업에 통합, 완전 자동화 처리 기술을 제공하여 에칭, 청소 및 기타 관련 프로세스에 가장 진보 된 시스템 중 하나입니다. 이 장치는 다양한 통합 에치/스트립 및 예금/스트립 기술 외에도 표준 TEL/TOKYO ELECTRON 에치, 스트립 및 예금 기술과 호환됩니다. TOKYO ELECTRON Expedius 습식 스테이션의 설정에는 챔버, 회전 헤드 및 완전 자동 로봇 암이 포함되어 있으며, 모두 내구성 스틸 인클로저 스텐트에 보관되어 있습니다. 이 챔버는 초고온 기능을 갖추고 있으며, 공정 에칭을 위한 균일 한 환경을 제공합니다. 또한, 챔버에는 특허를받은 사이클론 (cyclonic) 디자인이 있으며, 이를 통해 머신은 제조 과정에서 생성 된 입자와 이물질을 그릴 수 있습니다. 로봇 암은 터치 스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 에 의해 제어되며 위치 정확도, 균일 한 에치 깊이 및 일관된 제품 특성을 보장하는 균일 한 환경을 제공합니다. 로봇 암은 다양한 etch/strip 및 deposit/strip 작업을 포함하여 습식 에칭 및 청소 프로세스에 모두 사용할 수 있습니다. 또한 Expedius wet Station 은 운영 구성요소와 통신하고 프로세스 모니터링 및 운영 데이터 로깅을 용이하게 하는 동적 인터페이스 (dynamic interface) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 품질 보증 및 지속적인 개선을 위해 프로세스를 추적 할 수 있습니다. 또한이 인터페이스에는 처리량 향상을 위해 여러 TEL/TOKYO ELECTRON Expedius 습식 스테이션을 서로 연결하기위한 커넥터도 있습니다. 전반적으로, TEL Expedius 습식 스테이션 도구는 반도체 장치 제조의 에칭, 청소 및 기타 관련 프로세스를위한 고급 솔루션입니다. TOKYO ELECTRON Expedius는 고온 호환성, 사이클로닉 챔버 설계, 로봇 암, 동적 인터페이스, 향상된 처리량 기능과 같은 탁월한 기능을 통해 장치 제조업체보다 탁월한 프로세스 성능과 효율성을 제공합니다.