판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9310953

TEL / TOKYO ELECTRON Expedius
ID: 9310953
Wet bench.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius (종종 'TEL' 이라고도 함) 는 반도체 생산 환경에서 사용하도록 설계된 유정 스테이션 시스템의 주요 브랜드입니다. TOKYO ELECTRON WET Station은 고객에게 마이크로 일렉트로닉 (Microelectronic) 산업 요구에 가장 적합한 솔루션을 제공하며, 다양한 기능, 기능 및 서비스를 제공합니다. TEL Expedius 습식 스테이션은 중소형 웨이퍼 처리를 지원하도록 설계되었습니다. 각 스테이션에는 재순환 목욕, 특수 화학 탱크, 멀티 포지션 진공 기반 공정 챔버, 디온화 된 워터 시스템, 원격 제어 웨이퍼 처리 시스템 등 완전한 처리 공구가 장착되어 있습니다. 가공 "탱크 '와" 챔버' 는 고도 로 밀봉 되어 있으며, "웨이퍼 '를 처리 하는 동안 지속적인 처리 압력 을 유지 하도록 설계 되었다. 안전 (Safety) 역시 우선 순위이며, 자동 장치가 설치되어 와퍼가 넓은 온도 범위 또는 오염 물질에 노출되지 않도록 합니다. 습식 스테이션 (wet station) 시스템은 고객의 기존 툴 및 시스템과 쉽게 통합될 수 있으며, 모뎀 기반 이더넷 (Ethernet) 통합을 통해 고객의 플랜트 (Plant) 컴퓨터와 스테이션 간에 직접 액세스하여 원격 모니터링 및 유지 보수가 가능합니다. 이 스테이션은 또한 입자 분석을위한 OEMI (Optical Emission Imaging) 및 웨이퍼 테스트를위한 특수 가스 및 공기 기반 방법론을 포함한 옵션 분석 도구를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Customer Service Group은 (는) 곧 TOKYO ELECTRON Expedius 사용자의 경험을 최대한 강조하지 않도록 설계된 다양한 서비스를 제공합니다. 전체 설치/구축 지원, 포괄적인 실시간 시스템 모니터링/유지 보수 등이 포함됩니다. 고객 서비스 보증 (Customer Service Guarity) 은 장기간 기술 지원 및 수리, 그리고 가끔 기술 문제에 대한 지원으로 확대됩니다. 결국, 엑스페디우스 (Expedius) 젖은 스테이션은 고객에게 사용 가능한 반도체 장치의 가장 발전된 습식 처리를 제공하기 위해 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius 는 저가형 프로세싱, 고속 처리량, 매우 정확한 프로세스에 대한 요구 사항을 충족하는 하나의 통합 플랫폼에서 완벽한 솔루션을 제공합니다.
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