판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9267601

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 반도체 제조 및 재료 과학 연구원의 고급 요구를 충족시키기 위해 설계된 최첨단 습식 처리 스테이션입니다. 이 방송국은 산, 알칼리, 유기 시약 등 다양한 화학 물질을 처리 할 수 있습니다. 규소, 석영, 실리카, 유리, 금속 및 도자기와 같은 다양한 기질 재료. TEL Expedius wet station은 여러 솔루션을 운반하기위한 중앙 위치 로봇 암, 균일 한 온도 저수지, 밸런스, peristaltic pump, 다양한 프로세스를 자동으로 제어하기위한 PLC (programmable logic controller) 및 장비의 데이터 출력을 기록하고 모니터링하기위한 관련 워크스테이션을 포함하는 자동 플랫폼입니다. TOKYO ELECTRON Expedius station은 생물학적, 화학, 물리적 및 재료 과학 샘플의 다양한 실험실 규모의 준비를 수용하도록 설계되었습니다. 여기에는 증착, 에칭, 청소 및 특성화와 같은 표준 작업이 포함됩니다. 습식 스테이션은 센서, 매우 민감한 박막 연구, nanowire 성장, 나노 용접 및 micro/nanolithography와 같은 맞춤형 응용 프로그램을 실행하는 데에도 사용될 수 있습니다. Expedius wet station은 높은 수준의 프로세스 제어를 제공하여 정확성, 반복 가능성, 재현성을 제공합니다. 이렇게 하면 전체 프로세스 동안 각 단계에 대해 일관된 결과가 생성됩니다. 온도 저수지는 50 ~ 120 ° C 사이의 온도와 3 ° C 이상의 편차를 유지할 수 있습니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 여러 솔루션을 정확하게 처리하도록 구성되었으며 샘플 반응 대피를위한 진공 회선 (vacuum line) 이 내장되어 있습니다. 워크스테이션은 TEL/TOKYO ELECTRON Expedius 스테이션을 제어하는 기본 인터페이스로 작동합니다. 여기에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 시스템 프로그래밍을위한 내장 스크립트 언어가 모두 포함됩니다. 이 인터페이스는 데이터 로깅 (logging) 과 분석 (analysis) 을 용이하게 하며 결과는 다른 형식으로 공유될 수 있습니다. 이 장치에는 저장 전 샘플 특성화를위한 가열 건조 기계도 포함되어 있습니다. 최첨단 기술과 맞춤형 소프트웨어를 결합한 TEL 엑스페디우스 (TEL Expedius) 습식 스테이션은 다양한 습식 처리 실험을 수행하기 위한 강력한 플랫폼입니다. 공정 제어 (process control) 를 높여, 다양한 재료와 어플리케이션에 적응하는 기능을 통해 일관된 결과와 유연한 플랫폼을 보장합니다.