판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9219044

TEL/TOKYOV ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 빠르고 정확한 장치 처리를 가능하게하는 습식 스테이션입니다. 습식 스테이션은 화학 액체를 사용한 단일 웨이퍼 (single-wafer) 가공 및 청소를위한 공정 장비이며, 화학 물질의 고정밀 전달 및 제어, 짧은 공정 시간, 낮은 입자 수를 특징으로합니다. TEL Expedius 습식 스테이션은 화학 액체 전달 장치, 제어 장치, 스피너 메커니즘 및 공압 로봇으로 구성됩니다. 화학 물질 배달 장치 는 화학 "탱크 '에서 가공" 탱크' 로, 화학 물질 을 가공 "탱크 '로, 가공" 탱크' 에서 가공 "탱크 '로 화학 물질 을 운반 하는 화학 수송" 튜브' 와 화학 물질 의 전달 을 제어 하는 제어 "밸브 '로 구성 되어 있다. 제어 장치 (Control Unit) 는 화학적 전달을 제어 및 모니터링하며, 연산자가 매개변수를 설정하고 시스템 설정을 조정할 수 있도록 합니다. 스피너 (spinner) 메커니즘은 표면 처리 중에 웨이퍼를 유지하며 웨이퍼와 화학 물질 사이의 정확한 접촉을 가능하게합니다. 공압 "로봇 '은" 스피너' 에서 "웨이퍼 '를 제거 하여 기울어진" 테이블' 위 에 놓는 작업 을 수행 한다. TOKYO ELECTRON Expedius 습식 스테이션은 현대 반도체 장치의 생산을 위해 설계되었습니다. 이 스테이션은 신뢰성이 높고 효율성이 높은 것으로 테스트 및 인증되었으며, 구성 요소는 최소한의 유지 보수 (maintenance) 를 통해 장기적인 운영을 제공하도록 설계되었습니다. 습식 스테이션에는 실시간 피드백 장치 (Real-Time Feedback Unit) 및 프로세스 리포트 인쇄기 (Process Report Printing Machine) 와 같은 다양한 기능이 장착되어 있어 운영자가 도구 성능을 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 스테이션에는 가스 탐지기, 온도 및 습도 조절과 같은 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 최대 성능을 보장하기 위해, Expedius에는 다양한 도구와 센서가 장착되어 있습니다. 이 "스테이션 '은 화학적 액체 전달 을 정확 하게 보장 하고, 화학적 전달 자산" 파라미터' 의 정확 한 제어 를 미리 확정 하기 위하여 대형 "블로어 '장치 와 화학적" 인젝터' 를 갖추고 있다. 역에는 다양한 센서가 장착되어 있으며, 공정의 품질을 높이기 위해 온도, 압력, 습도, 입자 농도, 액체 수준 등 다양한 환경 측면을 감지하고 모니터링합니다. 또한, 스테이션에는 고급 데이터 로깅 (data logging) 및 분석 소프트웨어 (analytical software) 가 장착되어 있어 운영자가 운영 문제를 적시에 파악하고 수정하기 위해 작업 로그를 분석 및 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Expedius wet station은 반도체 장치 구성 요소를 정확하게 처리 및 청소 할 수있는 고급적이고 신뢰할 수있는 모델입니다. 이 장비는 매우 정확하고, 효율적이며, 안정적이며, 고급 기능으로, 광범위한 생산 요구를 충족할 수 있는 고품질 (고품질) 제품을 제공합니다.