판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9209422

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRIC Expedius는 실리콘 기반 회로 제작을위한 다양한 프로세스를 제공하기 위해 일본 회사 TEL/TOKYO ELECTRON에서 제조 한 습식 반도체 스테이션입니다. 반도체 산업의 전자 부품을 빠르게 만들기 위해 증착, 확산, 리소그래피 (lithography) 에 사용됩니다. TEL Expedius 스테이션은 자동 습식 및 화학 기계 평면 화학 스테이션이며, 에치 챔버 (etch chamber), 확산 용광로 (diffusion furnace), 리소그래피 트랙 (lithography track) 및 중앙 컨트롤러로 인터페이스 된 여러 챔버로 구성됩니다. 에치 챔버 (etch chamber) 에는 고압 발전기가 장착되어 기판 웨이퍼의 선택된 영역을 이소 바릭 에칭할 수 있습니다. 또한, 챔버는 2 단계 가스 전달 시스템, 화학 에칭제 스프레이 및 오존 발전기를 사용하여 공정을 균일하고 매우 효율적입니다. 확산 로는 질소 대기에서 최대 1100 'C (1100' C) 까지 고온 처리를 수행 할 수 있으며, 이를 통해 포퍼의 실리콘 층으로 인 (phosphorus), 붕소 (boron) 와 같은 도펀트를 증착 할 수 있습니다. 이 프로세스는 향상된 전류 흐름을 촉진하는 게이트 구조를 만듭니다. 리소그래피 (lithography) 트랙을 사용하면 고해상도 이미지 투영을 통해 웨이퍼에서 패턴을 개발할 수 있습니다. 전자 "빔 '을 사용 하여" 웨이퍼' 에 간섭 "패턴 '을 생성 하여 원하는 기능 을 만든다. 리소그래피 트랙 (lithography track) 은 또한 웨이퍼를 자외선에 노출시켜 전자 부품이 전류를 전달할 수있는 웨이브 가이드 (waveguide) 를 생성하는 데 사용될 수있다. 리소그래피 트랙은 스캐닝 전자 현미경, 마스크 라이터, 전자 현미경 레이저 리소그래피 시스템 (electron microscope laser lithography system) 과 같은 여러 주변 시스템과 인터페이스됩니다. TOKYO ELECTRON Expedius 스테이션은 반도체 산업에 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 매우 자동화되고, 비용 효율적이며, 제조업체가 신속하게 전자 부품을 만들 수 있습니다. 요약하면, Expedius는 에칭, 확산 및 리소그래피를위한 챔버로 구성된 체계적으로 통합 된 습식 스테이션입니다. 이소 바릭 에칭 (isobaric etching) 및 확산 (diffusion) 프로세스를 수행하고 정확한 해상도로 웨이퍼에 패턴을 개발할 수 있습니다. 이 스테이션은 매우 자동화되고 비용 효율적이며, 제조업체가 신속하게 전자 부품을 제작할 수 있습니다.