판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9098650

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + 는 자동 웨이퍼 청소 기술의 최신 혁신을 특징으로하는 습식 스테이션입니다. 초단수로 웨이퍼를 효율적으로 청소하기위한 단일 챔버 도구입니다. TEL Expedius + 는 특허 된 Waterfall Recline Flush 기술과 같은 고급 기능을 가지고 있으며, 스퐁, 린싱 및 건조 공정이 하나의 챔버에서 완료됩니다. 따라서 유지 관리 요구 사항을 크게 줄이고 일관된 청소 성능을 보장할 수 있습니다. 혁신적인 자가 청소 기능으로 다운타임 및 프로세스 오염도 줄일 수 있습니다. 고급 웨이퍼 클리닝 시스템 (Advanced Wafer Cleaning System) 은 높은 처리량과 높은 청소 능력을 갖춘 웨이퍼 클리닝 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 특허를받은 Waterfall Recline Flush 기능을 사용하여 TOKYO ELECTRON Expedius + 는 청소 유체 및 난방 웨이퍼의 흐름을 균일하게 최적화하여 고급 청소 성능을 달성 할 수 있습니다. 또한 통합 모터 제어 턴테이블 (Motor-driven Turntable) 은 균일 한 동요와 균일 한 가열을 보장하여 청소 성능을 향상시킵니다. 또한, 내장 된 사전 청소 처리 시스템 (Pre-clean Treatment System) 은 청소 중에 생성 된 표면 품질을 향상시켜 후속 필름과 저항을위한 일관된 기반을 제공합니다. Expedius + 는 오염을 줄이고 프로세스 단계를 최소화하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 클리닝 프로세스는 부품 정리를 위해 자동화되고 신중하게 모니터링됩니다. 자동화된 프로세스는 원하는 매개 변수 (주기, 시간 수 포함) 로 미리 설정할 수 있습니다. 또한, 내장 퇴화 시스템은 대기 오염 물질을 제거하여 우수한 열 단열재 (thermal insulation) 를 제공하여 챔버의 수동 퇴화 (manual degassing) 를 제거하여 프로세스 단계를 더욱 줄입니다. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + 는 고급 웨이퍼 클리닝 성능이 필요한 고객에게 이상적인 선택입니다. 따라서 유지 보수 요건이 최소화되어 높은 수준의 웨이퍼 클리닝 (Wafer Cleaning) 을 위한 최상의 선택이 가능하므로 일관된 클리닝 성능, 효율적인 웨이퍼 클리닝 프로세스, 오래 지속되는 안정성을 제공합니다. 빠른 속도와 안정적인 성능을 갖춘 TEL 엑스페디우스 (TEL Expedius +) 는 최고의 청결 수준을 충족하기 위해 웨이퍼를 빠르고 효과적으로 청소합니다.