판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9098649

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 미세 석판 공정을 위해 설계된 습식 스테이션입니다. 반도체 소자 제조에 사용되는 다양한 습식 (wet) 처리 단계에 소요되는 시간을 단축하기 위해 설계된 자동화된 올인원 (All-in-one) 습식 스테이션입니다. TEL Expedius Wet Station에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스, 프로세스 레시피, 향상된 사용자 제어, 프로세스 모니터링, 데이터 로깅 등 다양한 기능이 제공됩니다. TOKYO ELECTRON Expedius는 모듈 식 시스템으로, 딥 탱크, 스피너 및 건조기를 포함하여 최대 3 개의 개별 프로세스 모듈을 갖추고 있습니다. 각 모듈은 독립적으로 제어되고 모니터링되어 프로세스 성능을 최적화합니다. 딥 탱크는 동종 화학 공정 처리를 보장하기 위해 고속 동요로 설계되었습니다. 스피너는 동일하고 일관된 회전 속도와 디스펜싱 속도 (dispensing rate) 를 제공하여 다른 웨이퍼 크기에 걸쳐 균일 한 결과를 얻습니다. 건조기는 정확한 건조를 위해 조정 가능한 진공 및 온도 설정을 가지고 있습니다. Expedius의 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 프로세스 레시피를 만들고 수정할 수 있습니다. 프로세스 레시피는 정확한 매개변수 제어 (parameter control) 를 제공하며 추가 프로그래밍 작업 없이 새로운 타겟을 신속하게 설정할 수 있습니다. 또한 GUI 는 프로세스 성능을 문서화하고 모니터링할 수 있는 데이터 로깅 및 사후 분석 툴을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius Wet Station의 고급 프로세스 모니터링 기능에는 온도, 습도, 솔루션 농도 등의 주요 프로세스 매개변수에 대한 실시간 모니터링이 포함됩니다. 이러한 매개변수를 모니터링함으로써, 사용자는 잠재적인 프로세스 문제를 신속하게 파악하고, 시정 (corrective) 조치를 취하여 마이크로 리토그래피 결과의 일관성을 유지할 수 있습니다. TEL 엑스페디우스 (TEL Expedius) 는 마이크로 리토 그래피 처리 시간과 비용을 줄이려는 조직에 이상적인 솔루션입니다. 사용자 친화적이고 효율적인 솔루션을 제공하여, 일관성 있고 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 광범위한 기능, 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스, 고급 프로세스 모니터링을 갖춘 TOKYO ELECTRON Expedius는 모든 마이크로 리토 그래피 연구소에 필수품입니다.