판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9038418

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 반도체 제작 및 개발을위한 젖은 스테이션입니다. 소규모의 반도체 부품과 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 다용도 저가형 솔루션이다. 저가 제작, 박막 증착, 리소그래피 이미징, 에칭, 화학 증기 증착 (CVD), 저항 처리 등 다양한 응용 분야에서 사용하도록 설계되었습니다. TEL Expedius는 강력한 하드웨어 플랫폼과 소프트웨어 정의 컨트롤을 사용하여 탁월한 성능과 처리량을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Expedius에는 정확한 웨이퍼 처리를 위해 마이크로미터 정밀 도구 홀더, DIS (Digital Imaging Equipment), 이미징 및 도량형을위한 SEM (Scanning Electron Microscope), 빠른 이미지 스캐닝 프로세스를위한 FEM 광 디지털 이미징 시스템 (ODix) 및 빠른 이미지 제어 프로세스, 고속 이미지 스캐닝 프로세스를위한 ODix 제어 프로세스, DON X ON X ON E ON E ON 가 장착개가 장착개가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 또한 고출력 RF (Variable Frequency Radiofrequency) 발전기, 고출력 열 소스 및 정확한 웨이퍼 처리를위한 고속 정밀 X/Y 모션 스테이지 및 정밀 분말 분배 도구가 포함됩니다. 이 자산은 프로세스 제어, 프로세스 모니터링 및 프로세스 최적화를 위한 SDTM-2000 프로세스 자동화 소프트웨어도 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 가스압 (Gas Pressure), 가스 흐름 속도 (Gas Flow Rate), 온도 (Temper) 와 같은 프로세스 매개변수를 모니터링하고 제어하여 웨이퍼 (Wafer) 에서 웨이퍼 (Wafer) 에 이르는 일관된 결과를 얻을 수 있도록 도와 드립니다. 또한 Expedius 는 경과 시간 기록기, 이벤트 카운터, 프로세스 로그 등과 같은 고급 프로세스 관리 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 정확한 프로세스 추적 및 최적화를 수행할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 샘플의 로딩 및 언로드를 독립적으로 지원하므로 처리량이 증가하고 자동화 (automation) 수준이 높아집니다. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 반도체 업계의 까다로운 요구 사항을 충족시켜 탁월한 성능, 정확성, 반복성, 확장성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 소규모 반도체 부품과 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공하며, 업계의 모든 습식 스테이션 (wet station) 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다.