판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9032054

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 복잡한 기판 제작 공정을 위해 설계된 습식 벤치입니다. 이 정밀 장비는 고급 반도체, 인쇄 회로 보드 및 MEMS 장치 제조에 사용됩니다. 습식 스테이션 (Wet Station) 은 정확하고 고품질의 결과를 통해 안정적이고 반복 가능한 기판 제작을 보장하도록 특별히 설계되었습니다. TEL Classic Expeedius 스테이션에는 4 개의 프로세스 스테이션과 프로브 스테이션이 있습니다. 각 스테이션에는 조절 가능한 압력 펌프, 화학 전달 시스템, 온도 조절 및 동작 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 펌프는 Hydrochloric acid, Sulphuric acid, Ferric Chloride 및 TMAH를 포함한 다양한 용매와 에친트를 분배 할 수 있습니다. 또한 "토오쿄오 '전자" 엑스피디우스' 역 에는 진공 설비 가 있는데, 이 설비 는 가공 하는 기판 에서 폐액 을 끌어내도록 설계 되어 있다. 진공계는 액체 오염을 방지하고 폐기물을 최소화하도록 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Expeedius 스테이션은 기판 제작 중에 높은 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 다중 축 동작 제어 장치는 정확한 기판 플레이트 정렬 및 패턴을 보장합니다. 온도 조절 시스템은 정확한 온도 관리를 통해 최적의 에칭 (etching) 및 증착을 보장합니다. 또한, 크고 조절 가능한 압력 펌프는 정확한 전달 부피 및 압력을 가능하게합니다. 이 제어 기계는 안정적이고 반복 가능한 기판 구성 결과를 보장합니다. TEL 엑스피디우스 (TEL Expeedius) 스테이션에는 안전 인터 록 (Safety Interlock) 도구가 있으며, 이 도구는 장비뿐만 아니라 운영자를 보호하기 위해 설계되었습니다. 안전 연동 자산은 부적절한 화학 농도, 고압 수준, 고온을 방지하도록 설계되었습니다. 또한, 스테이션에는 고급 모니터링 및 제어 장치 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비는 제조 환경 (Manufacturing Environment) 을 제어하는 동시에 운영자 (Operator) 나 장비 (Equipment) 에 대한 위험을 최소화하기 위해 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Expeedius 스테이션은 반도체, 인쇄 회로 기판 및 MEMS 장치 제작 산업에서 널리 사용됩니다. 이 습식 스테이션은 정확하고 고품질 결과를 제공함으로써 고급 기판 제작 프로세스에 이상적입니다.