판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293745373

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + 는 고품질, 신뢰할 수있는 균일성 및 낮은 유지 관리 청소 프로토콜을 갖춘 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 최첨단 반도체 생산에서 연구개발 (R&D), 프로토타입 (prototyping) 에 이르기까지 다양한 어플리케이션을 사용할 수 있다. TEL Expedius + 의 핵심에는 슬림 한 레이아웃 프레임에 장착 된 습식 스테이션이 있습니다. 이 습식 스테이션은 스트립 및 청소, 증착, 에칭, 표면 처리, 도핑 등 다양한 프로세스에 이상적입니다. 또한, 습식 스테이션은 정확하고 반복 가능한 처리를 위해 정확한 스캐닝 자동 위치 시스템을 자랑합니다. 또한 습식 스테이션 (Wet Station) 은 단일 포트 모델에서 완전 통합 다중 포트 장치 (Multi-Port Unit) 에 이르기까지 다양한 프로세스 챔버 구성을 지원합니다. 모델에 따라, 이 장치는 한 번에 최대 12 개의 기판을 수용 할 수 있으므로, 더 효율적인 웨이퍼 (wafer) 생산 및 더 높은 처리량을 허용합니다. 넓은 습식 스테이션 및 멀티 포트 구성 외에도 TOKYO ELECTRON Expedius + 에는 웨이퍼-투-웨이퍼 크로스 웨이퍼 측정, 서브 챔버 배기, 카세트-카세트 전송을 포함한 다양한 고급 기술이 포함되어 있습니다. 기판 호환성, 통합 최상위 하중 측정 기계. 이러한 모든 기능은 적절한 웨이퍼 (wafer) 및 기판 처리를 보장하고, 탁월한 프로세스 제어를 제공하며, 다른 실행에서 웨이퍼 평면을 위해 반복 가능한 자체 정렬 (self-alignment) 을 달성하도록 설계되었습니다. Expedius + 는 인상적인 기능과 편의 시설 외에도 내구성, 자가 청소 디자인을 자랑합니다. 획기적인 ArF 자체 청소 메커니즘은 최소 수동 개입으로 좋은 웨이퍼 및 기판 품질을 유지하는 반면, 자동 ATC (Auto ATC) 도구는 수동 감동을 줄이고 오염 위험을 최소화합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + 는 고성능, 효율적인 웨이퍼 처리 자산으로, 뛰어난 균일성, 광범위한 프로세스 기능 및 고급 기능을 자랑합니다. 뛰어난 성능을 자랑하는 이 모델은 R&D (R&D) 와 프로토타입 (Prototyping) 에서 대규모 생산에 이르기까지 웨이퍼 프로세싱 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.