판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633734
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TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 반도체 웨이퍼 처리 및 처리에 효율성과 정밀성을 제공하도록 설계된 습식 스테이션입니다. 습식 스테이션 (Wet Station) 은 건조하고 매우 깨끗한 환경을 보장하여 가장 정확하고 안정적인 반도체 처리를 지원합니다. 이 습식 스테이션 (Wet Station) 은 고급 기술로 설계되어 Fab Cleanroom 처리 환경에 대한 뛰어난 솔루션을 제공합니다. TEL Expedius 습식 스테이션은 직경이 4 "~ 200mm 범위의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 각각 최대 속도 2,500 rpm의 3 개의 강력한 모터와 1,500 N-cm의 토크 등급이 장착되어 있습니다. 이 포지셔닝 장비에는 개별 웨이퍼의 처리 및 처리를 정확하게 제어하는 조절 가능한 압력 센서 (Adjustable Pressure Sensor) 도 있습니다. 고급 가스 제어 시스템 (Advanced Gas Control System) 을 갖춘 습식 스테이션은 제조 프로세스를 실행할 수 있는 안전하고 순수한 환경을 제공합니다. 통합 된 화학 공정 과 건조 "시스템 '은 화학 분배 및 청소 공정 중 의 오염 을 최소화 한다. 스테이션에는 고정밀 화학 에칭을위한 레이저 에칭 장치도 포함되어 있습니다. 습식 스테이션은 스핀 린서, 웨이퍼 캐리어, 금속 리프터, 가열 건조 챔버, 습도 모니터, 온도 및 습도 조절기, 초순수 정수 도구 등 다양한 옵션 액세서리를 제공합니다. 이러한 추가 구성 요소는 스테이션의 완벽한 성능을 더욱 향상시킵니다. 이 스테이션은 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 덕분에 사용자 친화적이며 작동이 간편합니다. 이 인터페이스를 사용하면 재료의 흐름을 쉽게 모니터링하고 제어하고, 설정을 관리하고, 실시간 프로세스 데이터를 표시할 수 있습니다. 이러한 기능의 조합으로 인해 습식 스테이션은 다양한 프로세스를 통합하기위한 신뢰할 수있는 플랫폼이되었습니다. 고급 TOKYO ELECTRON Expedius 습식 스테이션을 사용하면 제조 프로세스가 부드럽고 효율적으로 실행됩니다. 이 스테이션은 뛰어난 성능을 제공하며, 처리, 포지셔닝 및 처리 웨이퍼의 유연성과 정확성을 제공합니다. 이 특별한 습식 스테이션은 우수한 수율, 우수한 품질, 매우 신뢰할 수있는 반도체 장치를 제공합니다.
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