판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633732

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 자동 청소, 처리, 화학 공정 제어 및 웨이퍼 처리량 제어를 위해 설계된 습식 스테이션입니다. 이 혁신적인 기술은 사용자 친화적 운영, 고속 처리, 고급 프로세스 제어 기능 등 다양한 기능을 자랑합니다. TEL Expedius는 다양한 처리 응용 프로그램의 사용자 정의 구성 설계를 위해 Auto-CAD (Computer Aided Design) 장비를 사용합니다. 다른 프로세스에 대해 다중 (multiple) 구성의 습식 스테이션을 설정할 수 있습니다. 이렇게 하면 보다 효율적인 처리 주입이 가능해지며, 여기서 사용자는 습식 스테이션 (wet station) 에서 실행되는 프로세스에 맞춘 다른 매개변수를 설정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Expedius 는 동시 솔루션 처리 기능을 제공하며, 여러 프로세스를 동시에 실행할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 기존 습식 스테이션보다 훨씬 빠른 웨이퍼 클리닝 (wafer cleaning) 및 기타 처리 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 이 장치에는 프로세스 모니터링 및 제어 기능이 포함됩니다. 습식 스테이션 (wet station) 의 모든 컴포넌트의 온도, 흐름 속도, 압력 및 기타 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 이 기능은 소프트웨어에서 제공하는 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 와 결합하여, 프로세싱 환경을 쉽고 정확하게 제어할 수 있는 기능을 제공합니다. Expedius는 와퍼 클리닝 공정에서 에칭/흡수 욕조까지 산, 염기, 유기 용매, 촉매 등 모든 화학 물질에 대해 완전히 자동화 된 공정을 사용합니다. 이 자동화로 인해 시스템이 수동 시스템보다 현저히 빠르며, 사용자 오류 발생 가능성을 없앨 수 있습니다. 또한 이 도구는 센서와 컨트롤러를 사용하여 프로세스 동안 정확성과 반복성을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 환경 고려 사항을 고려하여 설계되었습니다. 이 젖은 "스테이션 '에는 처리 중 에 생성 되는 위험 하거나 독성 이 있는" 가스' 와 입자 를 제거 할 수 있는 배기 "에셋 '이 들어 있다. 이 모델에는 물 배수 장비 (water drainage equipment) 가 포함되어 있어 모든 액체 폐기물이 환경을 보호하는 동안 안전하게 폐기됩니다. 전반적으로 TEL Expedius는 안정적이고 효율적인 습식 스테이션입니다. 높은 정밀도, 빠른 작동 및 자동화된 프로세스 제어를 지원합니다. 이 습식 스테이션 (Wet Station) 을 활용하면 처리 시간과 인건비 (Labor Cost) 를 크게 줄일 수 있고, 최고 품질의 제품을 만들 수 있습니다.