판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629289

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 고급 반도체 처리를 위해 설계된 습식 스테이션입니다. 다양한 애플리케이션을 위한 다양한 프로세스를 제공합니다. 고급 기능에는 불활성 가스, 액체 화학 물질 및 대기 화학제를 사용한 고속, 높은 정확도 처리가 포함됩니다. 모든 크기의 웨이퍼를 소형에서 대형으로 처리할 수 있습니다. 여러 프로세스 모듈을 사용하여 서로 다른 프로세스를 동시에 수행할 수 있습니다. 유속 (flow rate), 온도 (temperature) 및 반응 지속 시간 (duration of the reaction) 을 포함하여 정확하게 제어 할 수있는 프로세스 여러 유형의 기기 및 프로세스 컨트롤러와의 호환성. 자동화 기능을 통해 처리를 단순화하고 신속하게 수행할 수 있습니다. 사용자는 강력한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. TEL Expedius 에는 시스템 작동에 중요한 여러 구성 요소가 포함되어 있습니다. 첫 번째는 CPU (Central Processing Unit) 로, 제어 소프트웨어와 제어 시스템과 다른 프로세스 모듈 간의 통신을 제공합니다. 두 번째는 리퀴드 핸들러 (Liquid Handler) 이며, 이 과정에서 사용되는 액체 화학 물질의 흐름과 분산을 처리하는 시스템입니다. 세 번째는 기판 캐리어의 웨이퍼 로드, 언로드 및 정렬을 제어하는 기판 핸들러 (Substrate Handler) 입니다. 마지막으로, 네 번째는 프로세스 컨트롤러 (Process Controllers) 로, 흐름 속도, 온도, 기타 노출 전 매개변수와 같은 매개변수를 제어합니다. TOKYO ELECTRON Expedius는 다양한 화학제를 사용하는 고정밀 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. 또한 다양한 유형의 기기 (instruments) 와 프로세스 컨트롤러 (process controller) 를 지원하므로 프로세스 설계에 매우 유연합니다. 자동화 기능은 또한 처리 효율성을 향상시킵니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 프로세스를 간편하게 모니터링하고 제어할 수 있으며, 사용자는 언제든지 프로세스를 시작, 중지, 일시 중지할 수 있습니다. 또한 사용자는 다양한 프로세스 시퀀스를 프로그래밍하고, 신속하게 전환할 수 있습니다. Expedius는 고급 반도체 처리에 적합한 선택입니다.