판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629288

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 실리콘 웨이퍼, 칩, 기타 박막 재료를 포함한 다양한 재료에서 효율적이고, 대규모 절단 및 얇은 공정을 가능하게하는 습식 공정 스테이션입니다. 이 제품은 매우 저렴한 제조 공정을 갖춘 자동화된 툴로서, 신뢰할 수 있는 반도체 제조 작업을 제공합니다. TEL 엑스페디우스 (TEL Expedius) 는 습식 처리 탱크와 프로세스 자동화에 사용되는 로봇을 포함하는 두 가지 기본 구성 요소로 구성됩니다. 장비 핵심에는 액체 (Liquid) 와 고체 (Solid) 공정 재료를 안전하게 전송하도록 설계된 가압 원료 전송 탱크 (Pressurized Raw Material Transfer Tank) 가 있습니다. 로봇 장치는 2 개의 로봇 암으로 구성되며, 하나는 스테이션에 웨이퍼를 로드하고, 하나는 프로세스의 로봇 암, 압력, 운동, 흐름을 제어하기위한 것입니다. 고급 제어 장치 (advanced control unit) 를 사용하여 사용자는 프로세스 매개변수를 사용자 정의하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Expedius 프로필이라고하는이 기계는 프로세스 매개 변수의 3 차원 표현을 기반으로합니다. 이 툴을 사용하면 추가 자재 (Additional Material) 또는 인건비 (Labor Cost) 에 투자하지 않고도 프로세스의 중심성을 향상시킬 수 있습니다. 엑스페디우스 (Expedius) 는 효율적인 운영 외에도 다양한 안전 기능과 고급 기술을 갖추고 있습니다. 이 탱크에는 안전 도어가 장착되어 있으며, 로봇 암에는 사용자 정의 위험 (user-defined hazardous) 조건을 감지 할 수있는 로봇 센서가 포함되어 있습니다. 또한, 자동 프로세스 모니터링 (Automatic Process Monitoring) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 자산은 이벤트의 경우 운영자에게 신뢰할 수 있는 프로세스 기록 및 경고를 제공하도록 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius는 종합적인 습식 처리 모델이며, 반도체 산업에서 박막 프로세스가 수행되는 방식에 혁명을 일으켰습니다. 자동화된 "탱크 '와" 로봇' "암 '과 고급 안전 기능 을 결합 하면 안정적 이고 비용 적 인 운영 을 할 수 있다. 또한, 포함된 프로파일 (profile) 장비를 사용하면 최소한의 수동 개입으로 프로세스 매개변수를 고급 사용자 정의할 수 있습니다.