판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius I #293824712
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ID: 293824712
Wet bench
Mainframe
(6) Chambers
(4) POU modules: APM, HF, NH₄OH, HPM
(2) SD2 modules
Application: DHF/APM Cleaning.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius I은 반도체 제조 공정에 사용되는 최첨단 습식 스테이션입니다. 이 고급 장비는 웨이퍼 (Wafer) 의 정확하고 제어된 습식 화학 처리를 제공하여 집적 회로 (Integrated Circuit) 및 기타 전자 장치의 제작에 중요한 역할을합니다. TEL 엑스페디우스 I (Expedius I wet) 스테이션은 반도체 생산 장비의 주요 공급 업체 인 TEL에서 제조하며, 고품질, 고성능 처리를 위해 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON EXPedius I Wet Station은 모듈식 설계로, 특정 프로세스 요구 사항을 충족하는 유연한 구성과 사용자 정의가 가능합니다. 이 장비는 화학 공정 탱크, 로봇 공학, 유체 처리 시스템, 제어 장치 등 여러 모듈로 구성되어 있으며, 모두 원활하게 통합되어 반도체 제조를위한 포괄적 인 습식 처리 솔루션을 제공합니다. 엑스페디우스 I (Expedius I) 습식 스테이션의 주요 특징 중 하나는 고급 로봇 시스템 (robotics system) 으로, 처리 단계에서 웨이퍼를 정확하게 처리 및 조작할 수 있습니다. "로봇 '무기 는 정교 한" 센서' 와 시력 "시스템 '을 갖추고 공정" 탱크' 의 "웨이퍼 '를 정확 한 위치 와 정렬 하여 오염 의 위험 을 최소화 하고 처리 효율성 을 향상 시킨다. 습식 스테이션에는 다양한 화학 공정 탱크가 장착되어 있으며, 각각 청소, 에칭, 증착과 같은 특정 습식 화학 공정을 위해 설계되었습니다. 이 탱크는 부식과 오염에 강한 고품질 (high-quality) 재료로 만들어졌으며, 화학 물질의 순도 (purity) 와 처리 중인 웨이퍼의 무결성을 보장합니다. "탱크 '는 원하는 공정 온도 를 유지 하고 일관성 있고 믿을 만한 처리 결과 를 보장 하기 위하여 온도 조절" 시스템' 을 갖추고 있다. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius I wet station은 또한 처리 중 화학 흐름 및 농도에 대한 정확한 제어를 제공하는 고급 유체 처리 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치 에는 "펌프 '," 밸브' 및 "필터 '가 포함 되는데, 그것 은" 반도체' 제조 에 사용 되는 여러 가지 화학 물질 을 처리 하는 데 사용 되며, 최적의 처리 결과 를 위해 화학품 의 균일 한 분배 와 혼합 을 보장 한다. 습식 스테이션 (wet station) 은 연산자에게 처리 매개변수의 실시간 모니터링 및 제어를 제공하는 정교한 소프트웨어 인터페이스에 의해 제어됩니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 프로세스 레시피 프로그래밍, 시스템 성능 모니터링, 작업 중 발생할 수 있는 모든 문제 해결 (Troubleshooting) 등을 간편하게 수행할 수 있습니다. 또한 고급 데이터 로깅 (data logging) 및 분석 툴 (analysis tools) 을 통해 프로세스 최적화 및 품질 관리 기능을 통해 일관되고 재현이 가능한 처리 결과를 얻을 수 있습니다. 결론적으로, TEL Expedius I 습식 스테이션은 반도체 제조에서 습식 화학 가공을위한 포괄적 인 솔루션을 제공하는 최첨단 장비입니다. 고급 로보틱스 (Robotics), 정밀 처리 (Precision Handling) 및 정교한 제어 시스템을 갖춘 습식 스테이션은 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하는 고성능 처리 기능을 제공합니다. 유연성, 신뢰성 및 효율성을 위해 설계된 TOKYO ELECTRON Expedius I 습식 스테이션 (Wet Station) 은 생산 공정에서 높은 수율과 뛰어난 제품 품질을 달성하려는 반도체 제조업체에 중요한 도구입니다.
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