판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius-i #293821711

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius-i는 고급 습식 공정 기능과 유연성을 제공하도록 설계된 습식 스테이션입니다. 이 장비는 고도로 구성 가능한 개방형 아키텍처 (open architecture) 를 갖추고 있으며, 사용자가 변화하는 프로세스 애플리케이션 요구 사항에 쉽고 빠르게 적응할 수 있습니다. TEL Expedius-i는 침수, 스프레이, 저항 스트립, 종자 코팅 등 다양한 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 (Wafer), 디스크 기판 (Disk 기판) 및 지름이 16 "인 기타 모양을 포함한 다양한 기판을 수용하도록 설계되었습니다. 이 장치는 또한 저온 (low temperature) 에서 고온 (high temperature) 프로세스, 단순 (simple) 프로세스, 표준 (standard) 프로세스에서 고급 (advanced) 프로세스까지 다양한 프로세스 요구 사항을 지원합니다. TOKYO ELECTRON Expedius-i에는 고급 내부 프로세스 모니터링 머신 (in-situ process monitoring machine) 이 포함되어 있어 사용자가 프로세스 진행 상황을 정확하고 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 이 현장 프로세스 모니터링 도구에는 pH, 이온 감지, 호흡기 센서 등 다양한 센서와 함께, 정확한 온도 및 습도 제어를 보장하는 고급 8 채널 열전대 및 습도 감지 에셋과 같은 기능이 있습니다. Expedius-i (Expedius-i) 는 광범위한 프로세스 제어 소프트웨어 제품군을 갖추고 있으며, 이 소프트웨어를 통해 사용자는 유연성을 극대화하고 습식 프로세스를 제어할 수 있습니다. 이 프로세스 제어 소프트웨어 (process control software) 에는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있어 모델의 다양한 기능을 구성, 모니터링 및 제어할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 포괄적인 사전 정의된 프로세스 레시피 (recipe) 세트가 포함되어 있어 최소한의 노력으로 신속하고 손쉽게 처리 처리 (turnaround process) 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius-i는 연구 및 생산 응용 프로그램의 요구를 모두 충족하도록 설계되었습니다. 모듈식 디자인과 고급 기능은 자동 카세트 처리, 프리 린스 (Pre-Rinse) 탱크, 스핀 및 린스 (Spin and Rinse) 액세서리, 기타 다양한 옵션을 포함한 다양한 액세서리 제품군이 지원합니다. TEL Expedius-i는 현대적인 습식 프로세스 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 효율적인 습식 스테이션입니다. 고급 기능 세트 (advanced feature set), 견고한 디자인 (strust design), 종합적인 액세서리 (compessory) 를 통해 최상의 수준의 프로세스 성능과 효율성을 실현할 수 있습니다.