판매용 중고 SUBMICRON SYSTEMS Automatic megasonic wet bench #293635359

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습식 스테이션
제조사
SUBMICRON SYSTEMS
모델
Automatic megasonic wet bench
ID: 293635359
빈티지: 1996
1996 vintage.
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SUBMICRON SYSTEMS 자동 메가소닉 습식 벤치 (Automatic megasonic wet bench) 는 서브미크론 수준에서 기판의 정밀 청소, 에칭 및 표면 수정을 위해 설계된 고급 습식 처리 스테이션입니다. 최첨단 장비는 최첨단 기술과 사용자 친화적 기능을 결합하여 연구 개발 실험실, 반도체 제조 설비, 초청소음 처리 (Ultra Clean Processing) 환경을 필요로 하는 기타 업계에 매우 효율적인 솔루션을 제공합니다. 자동 메가소닉 (Automatic megasonic) 습식 벤치 (wet bench) 에는 일관되고 안정적인 결과를 제공하기 위해 원활하게 작동하는 다양한 모듈과 컴포넌트가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 가공 화학 물질의 정확한 제어를위한 화학 전달 장치 (chemical delivery unit), 강력하고 균일 한 청소 작용을위한 메가 소닉 발전기 (megasonic generator) 및 기질의 능률화 된 가공을위한 자동 웨이퍼 처리 기계 (automated wafer handling machine) 가 포함되어 있습니다. SUBMICRON SYSTEMS Automatic megasonic 습식 벤치의 주요 기능 중 하나는 고급 megasonic 청소 기술입니다. 메가 소닉 클리닝 (Megasonic cleaning) 은 고주파 음파를 사용하여 클리닝 용액에 캐비테이션 버블 (cavitation bubble) 을 생성하여 기판의 표면을 효과적으로 스크러빙하고 서브 미크론 수준에서 입자와 오염 물질을 제거합니다. ··· 이 기술 은 섬세 한 기판 을 손상 시키지 않고 부드럽고 철저 한 청소 를 하며, 따라서 높은 청결 표준 을 요하는 "응용프로그램 '에 이상적 이다. 습식 "벤치 '는" 메가소닉' 청소 외 에도 "에칭 ', 표면 수정, 화학 세정 등 여러 가지 습윤 한 과정 을 수행 할 수 있다. 이 도구를 사용하면 온도, 흐름 속도, 처리 시간 (process time) 과 같은 프로세스 매개변수를 사용자정의하여 다양한 응용 프로그램의 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이러한 프로세스를 단일 플랫폼으로 통합하면 연구 개발 프로젝트 (Research and Development Project) 를 위한 다목적 솔루션으로, 여러 가지 습식 처리 단계를 거쳐야 합니다. 자동 메가소닉 습식 벤치는 사용자 편의를 염두에 두고 설계되었습니다. 에셋은 직관적인 터치 스크린 인터페이스를 통해 운영자가 쉽게 프로세스를 설정하고, 모니터링하고, 매개변수를 조정하고, 모델에 액세스할 수 있도록 합니다. 자동 웨이퍼 처리 (Automated Wafer Handling) 장비는 단일 실행으로 여러 기판을 처리하여 수작업 (Manual Labor) 을 줄이고 처리량을 증가시킵니다. 이 시스템에는 유출 감지 센서, 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼, 연동기 및 장비 보호를 위한 인터록 (Interlock) 과 같은 안전 기능도 포함되어 있습니다. 습식 벤치 (Wet Bench) 는 고품질 재료와 컴포넌트로 구성되어 까다로운 제조 환경에서 내구성과 안정성을 보장합니다. 이 장치는 청결 (Cleaness) 과 안전 (Safety) 에 대한 업계 표준을 충족하도록 설계되었으며, 청소 시설 및 Class 1000 + 환경에 적합합니다. SUBMICRON SYSTEMS (SUBMICRON SYSTEMS) 는 추가 프로세스 모듈, 확장된 화학 호환성, 기타 장비와의 통합 등 특정 어플리케이션 요구 사항에 맞게 습식 벤치를 조정할 수 있는 맞춤형 구성 옵션을 제공합니다. 전반적으로, SUBMICRON SYSTEMS 자동 메가소닉 습식 벤치 (Automatic megasonic wet bench) 는 서브 미크론 수준에서 정밀 클리닝 및 표면 수정이 필요한 응용 프로그램을 위한 다용도 및 효율적인 습식 처리 솔루션입니다. 첨단 기술, 사용자 친화적 특징, 견고한 구성 기능을 갖춘 이 머신은 연구 개발 프로젝트, 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 및 고성능 (HPP) 프로세싱 기능이 필요한 기타 업계를 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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