판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST AWP #9091165

AST (SMAST) Automated Wet Process (STEAG/MATTSON/AST AWP) 스테이션은 반도체 패키징 및 웨이퍼 어셈블리 프로세스에서 자동화된 작동을 위해 설계된 고급 대용량 습식 처리 스테이션입니다. SMAST AST AWP 스테이션 (SMAST AST AWP Station) 은 최적의 수율로 프로세스 주기 시간을 일관되게 제공하면서 인간의 개입을 줄이기 위해 설계된 완벽한 모듈식 습식 처리 플랫폼입니다. SMAST STEAG AWP Station에는 스테이션 내부의 자동 반응 환경 (웨이퍼 및 부품 처리, 화학 처리, 공정 후 작업) 을 제공하는 3 가지 핵심 기능이 있습니다. 화학적 처리 플랫폼 (chemical processing platform) 은 중앙 집중식 모듈식 (modular) 으로, 특정 고객의 요구에 맞게 처리 주기를 사용자 정의할 수 있습니다. 이러한 유연한 설계를 통해 불필요한 모듈을 제거하여 전반적인 설치 공간과 비용을 줄일 수 있습니다. SMAST AWP Station에는 자동 웨이퍼 처리, 자동 저장 및 검색 시스템도 있습니다. 자동화된 처리 장비 (automated handling equipment) 는 로봇 암을 사용하여 공정 단계 간에 웨이퍼와 부품을 운송하는 한편 오염 물질로부터 완전한 물리적 격리를 제공합니다. 저장 및 검색 시스템 (storage and retrieval system) 은 웨이퍼 (wafer) 와 부품 인벤토리 (part inventory) 를 최적의 수준으로 유지하며 프로세싱 챔버를 필요한 화학 물질과 용매로 자동으로 채울 수 있도록 설계되었습니다. 역에는 또한 4 개의 주요 공정 탱크 (rinse tank, pickling tank, drying tank 및 seal tank) 가 포함됩니다. 탱크 내부에는 STEAG 기술 (STEAG Technology) 의 고급 멀티 노즐 헤드 장치 (multi-nozzlehead unit propriety) 가 사용되어 전체 화학 과정에서 가능한 가장 높은 균일 성을 제공합니다. 스테이션에는 전체 프로세스 사용자 정의 및 레시피 문서를 위해 개인용 컴퓨터에 연결된 통합 프로세스 컨트롤러 (Integrated Process Controller) 가 있습니다. SMAST MATTSON AWP Station (SMAST MATTSON AWP Station) 은 다양한 프로세스 화학 및 기능을 제공하며 인증 및 비 인증 화학 물질을 모두 허용합니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 플랫폼은 프로세스의 진행 상황을 모니터링하고, 잠재적인 화학적 (chemical) 또는 온도 불일치를 파악하여 프로세스 수정 (process correction) 및 실시간으로 개선하도록 설계되었습니다. SMAST STEAG/MATTSON/AST AWP Station에는 액체 청소기, 마른 질소 캐스케이드 청소 도구, 마른 산소 캐스케이드 청소 자산 및 초음파 청소주기 등 4 가지 청소 시스템이 장착되어 있습니다. 이 광범위한 클리닝 솔루션은 모든 안전 (Safety), 환경 (Environmental), 산업 사양 (Industrial Specification) 을 충족하면서 제품의 가장 높은 기본 품질을 보장합니다. 마지막으로 SMAST AST AWP Station에는 정교한 환기, 푸드 후드, ESD 안전 도어 및 자동 격리와 같은 고급 환경 보호 장치가 있습니다. 이러한 보호 장치 (Safeguard) 는 인력과 스테이션이 활용되는 환경을 보호하면서 운영 효율을 극대화하기 위해 설계되었습니다.