판매용 중고 SINGULUS / STANGL Isotex 3000-D #293760570
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SINGULUS/STANGL Isotex 3000-D는 반도체, 광전자 및 디스플레이 산업에 사용되는 기판의 정밀 청소 및 표면 처리를 위해 설계된 최첨단 습식 처리 스테이션입니다. 이 고급 습식 스테이션 (Advanced Wet Station) 은 최신 제조 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하는 높은 수준의 자동화, 프로세스 제어, 유연성을 제공합니다. STANGL Isotex 3000-D는 모듈식 설계를 통해 사용자 지정 구성에서 청소, 에칭, 린싱, 건조 등 다양한 처리 단계를 수용할 수 있습니다. 이 "스테이션 '에는 여러 개 의 공정" 탱크' 가 갖추어져 있으며, 각 "탱크 '는 특정 한 화학 치료 나 청소 단계 를 전담 하고 있다. 이 탱크는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 또는 폴리 프로필렌 (polypropylene) 과 같은 부식 내성 재료로 만들어져 광범위한 공정 화학 물질과의 호환성을 보장합니다. 스테이션은 온도, 흐름 속도, 몰입 시간, 동요 속도 등 중요한 프로세스 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 정교한 소프트웨어 시스템에 의해 제어됩니다. 이 소프트웨어는 레시피 관리 (recipe management) 기능을 제공하여 사용자가 반복 가능한 결과와 프로세스 최적화를 위해 미리 정의된 프로세스 레시피를 저장하고 회수할 수 있습니다. SINGULUS Isotex 3000-D에는 고급 모니터링 및 제어 시스템이 장착되어 있어 프로세스 반복성과 일관성을 보장합니다. 화학 농도, pH 수준, 전도성과 같은 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하면 즉시 조정하여 최적의 프로세스 조건을 유지할 수 있습니다. 이 스테이션에는 프로세스 편차를 방지하고 운영자 안전을 보장하기위한 안전 연동 (Safety Interlock) 및 경보기가 있습니다. 습식 스테이션 (Wet Station) 은 청소실 환경의 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 높은 수준의 청결 및 입자 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 여과 "시스템 '이" 스테이션' 에 통합 되어 오염 물질 을 제거 하고 가공 화학 물질 의 순도 를 보장 한다. 또한이 스테이션에는 가공 중 제어 환경을 유지하기 위해 층류 (laminar flow) 벤치, HEPA 필터 및 화학 연료 스크러버 (chemical fume scrubber) 와 같은 기능이 장착되어 있습니다. Isotex 3000-D는 다양한 기판 크기, 재료, 프로세스 요구사항을 수용할 수 있는 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 스테이션은 배치 (batch) 모드와 단일 웨이퍼 (single-wafer) 처리 모드를 모두 지원하므로 운영 워크플로의 처리량과 유연성이 향상됩니다. 메가소닉 클리닝 (megasonic cleaning), 브러쉬 스크러빙 (brush scrubbing), 스프레이 클리닝 (spray cleaning) 과 같은 다양한 프로세스 모듈을 스테이션에 통합하여 특정 클리닝 문제를 해결할 수 있습니다. 전반적으로 SINGULUS/STANGL Isotex 3000-D 습식 처리 스테이션은 첨단 산업의 정밀 청소 및 표면 처리 애플리케이션을위한 새로운 표준을 설정합니다. 고급 자동화, 프로세스 제어, 유연성을 갖춘 STANGL 아이소텍스 (STANGL Isotex) 3000-D 는 제품의 품질과 성능을 향상시키기 위해 안정적이고 효율적인 처리 기능을 원하는 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.
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