판매용 중고 SINGULUS Silex SDE800 #9299897

SINGULUS Silex SDE800 습식 스테이션 (wet station) 은 박막 증착 분야의 의료 기기 제조업체 및 연구원의 요구를 충족시키기 위해 강력하고 신뢰할 수있는 생산 준비 기계입니다. 통합 공정 챔버를 포함하는 모듈식 플랫폼의 주요 기능에는 온도, 압력, 속도, 에칭에 대한 고정밀 제어, 8 "및 10" 과 같은 표준 웨이퍼 크기와의 호환성이 포함됩니다. 또한 SDE800 습식 스테이션 (wet station) 은 150 개가 넘는 개별 프로세스 매개변수를 갖춘 고급 안전 및 모니터링 기술을 통해 안정적이고 반복 가능한 작동을 보장합니다. SDE800 습식 스테이션 (wet station) 은 다양한 절차를 위해 섬세한 기판 및 재료를 사용하여 일하는 의료 기기 제조업체의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 여기에는 에칭, 박막 코팅, 캡슐화 프로세스, 진공, 대기 및 부식 가스 처리 요구 적용이 포함됩니다. SDE800 습식 스테이션은 저온 처리 기능 외에도 플라즈마, 플라즈마 이온 임플란테이션, 스퍼터링 및 이온 빔 증착과 같은 다양한 고급 프로세스를 지원합니다. 또한, 이 기계는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 갖춘 다양한 자동 제어 시스템 (Automated Control System) 을 갖추고 있습니다. SDE800 습식 스테이션 (wet station) 은 개별 리서치 또는 산업 애플리케이션의 요구를 충족하기 위해 다양한 모듈을 갖춘 기본 모델로 구성됩니다. 기계의 중심에는 55 ° C의 온도를 달성하고 8 "또는 10" 직경 기판 크기로 업그레이드 할 수있는 옵션으로 최대 10-7 torr 압력을 가하는 구형 챔버 인 유니버설 프로세스 챔버 (universal process chamber) 가 있습니다. 각 챔버 (chamber) 에는 온도와 압력 게이지가 통합되어 있으며, 자동 압력 프로파일이 장착 된 통합 진공 수준 측정 시스템도 있습니다. 또한, 챔버는 필요한 경우 가스 혼합물 옵션을 갖춘 수소, 아르곤 (argon) 과 같은 다양한 공정 가스를 지원합니다. 안정적이고 반복 가능한 작동을 보장하기 위해 SDE800 습식 스테이션 (wet station) 은 150 개가 넘는 프로세스 매개변수를 갖춘 정교한 안전 및 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 여기에는 전자적 장애 감지 시스템 (electronic fault detection system) 및 긴급 자동 종료 시스템 (process-critical conditions) 이 포함됩니다. 또한 이 시스템에는 편리한 모니터링 및 보정을 위한 통합 제어 시스템 (Graphical User Interface) 이 포함되어 있습니다. 결론적으로, Silex SDE800 습식 스테이션은 박막 증착 공정에 대한 의료 기기 제조업체 및 연구원의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 머신입니다. 모듈식 설계, 고정밀 제어 기능, 정교한 안전 시스템을 갖춘 SDE800 습식 스테이션 (wet station) 은 다양한 섬세한 기판 및 재료 요구에 이상적인 솔루션입니다.