판매용 중고 SHIMADA-RIKA Wet station #293820043

ID: 293820043
웨이퍼 크기: 8"
8" (2) Tanks.
SHIMADA-RIKA Wet 스테이션은 반도체 재료의 제어 된 습식 처리를 위해 설계된 전문 시설입니다. 이 최첨단 Wet 스테이션에는 고급 기술과 기능이 장착되어 있어 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 (wafer) 와 기판의 습식 처리에 대한 정확성, 안정성, 일관성을 보장합니다. 주요 구성 요소 및 기능: 1. 화학 배달 장비: 시마다-리카 (SHIMADA-RIKA) 젖은 스테이션 (Wet Station) 에는 습식 가공에 사용되는 화학 물질의 흐름과 분배를 정확하게 제어하는 정교한 화학 배달 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치는 처리 결과를 최적화하기 위해 정확한 혼합 비율과 제어 화학 분포 (controlled chemical distribution) 를 보장합니다. 2. 린스 머신 (Rinse Machine): 습식 스테이션 (Wet station) 은 각 프로세스 단계 후에 웨이퍼를 철저히 울릴 수있는 전용 린스 도구를 갖추고 있습니다. "린스 '에셋 은 화학적 으로 이송 되고 오염 되는 것 을 최소화 하여 가공 된" 웨이퍼' 의 무결성 을 보장 하도록 설계 되었다. 3. 온도 조절: SHIMADA-RIKA Wet 스테이션에는 고급 온도 조절 시스템이 장착되어 각 화학 프로세스 단계의 최적 처리 온도를 유지합니다. 정밀한 온도 조절은 일관되고 균일한 처리 결과를 달성하는 데 필수적입니다. 4. 화학 모니터링 및 제어 (Chemical Monitoring and Control): 습식 스테이션에는 처리 중 화학 농도와 pH 수준을 지속적으로 모니터링하기 위해 센서 및 모니터링 장치가 장착되어 있습니다. 자동화된 피드백 메커니즘은 화학적 흐름 속도와 매개변수를 조정하여 원하는 처리 조건을 유지합니다. 5. 웨이퍼 처리 모델 (Wafer Handling Model): SHIMADA-RIKA Wet 스테이션은 프로세스 단계 간 웨이퍼의 효율적이고 안전한 전송을 보장하는 웨이퍼 처리 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 파손 (wafer breakage) 과 오염 (contamination) 을 최소화하여 수율 및 공정 효율을 극대화하도록 설계되었습니다. 6. Process Sequencing and Automation: Wet Station에는 PLC (Programmable Logic Controller) 및 프로세스 시퀀스 자동화가 가능한 소프트웨어 시스템이 장착되어 있습니다. 미리 프로그래밍된 레시피와 프로토콜을 쉽게 로드하고 실행할 수 있으므로 습식 처리 단계에서 일관성 (consistency) 과 반복 (repeatability) 을 보장할 수 있습니다. 7. 안전 기능: SHIMADA-RIKA Wet 스테이션은 운영자와 환경을 잠재적 인 화학적 위험으로부터 보호하기 위해 강력한 안전 기능으로 설계되었습니다. 안전한 작업 환경을 보장하기 위해 비상 차단 시스템, 연체 추출, 환기 시스템 등이 마련되어 있습니다. 8. Cleanroom 호환성: Wet 스테이션은 반도체 Cleanroom 환경의 엄격한 청결 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장비는 입자 생성 및 오염을 최소화하여 가공 된 웨이퍼의 무결성을 보장하는 고급 재료 (high-grade material) 로 구성됩니다. 응용 프로그램: SHIMADA-RIKA Wet 스테이션은 에칭, 클리닝 및 표면 준비 프로세스를 포함한 반도체 제조에서 다양한 습식 처리 응용 분야에 적합합니다. 습식 스테이션 (Wet Station) 은 다양한 웨이퍼 크기와 재료를 수용 할 수 있으며, 다양한 반도체 제작 프로세스에 다재다능합니다. 결론적으로, SHIMADA-RIKA Wet 스테이션은 최첨단 시설로, 반도체 제조에서 습식 처리 어플리케이션에 대한 정확한 제어, 고급 자동화 및 뛰어난 신뢰성을 제공합니다. 반도체 (반도체) 패브에는 고품질 (고품질) 처리 결과를 달성하고 제조 공정을 최적화하고자 하는 혁신적인 기능과 첨단 기술 (Advanced Technology) 이 이상적인 선택이다.
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