판매용 중고 SES BW3000 #9257034

제조사
SES
모델
BW3000
ID: 9257034
웨이퍼 크기: 12"
Wet station, 12" F-Type (50) Wafers Bath configuration: L/D, L/R, C/W, HS1, HS2, HQDR1, HQDR2, SC1 (1), HQDR3, SC1 (2) RMMDs, UL/D.
SES BW3000 은 자동화된 Clean Room 습윤 프로세스를 강력하고 효율적으로 지원하기 위해 설계된 최첨단 Wet Station 입니다. 중요한 청소 애플리케이션을 위한 정확하고, 반복 가능하며, 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 온도, 린스-워터 (rinse-water) 흐름 속도, 수압 및 세제의 농도를 매우 정확하게 제어하여 도구 청소 과정의 각 프로세스 단계를 올바르게 관리하도록 합니다. 이 장치에는 프리 린스, 세제 세척, 최종 린스 및 뜨거운 공기 건조와 같은 4 가지 청소 단계가 있습니다. 이 장비는 최대 1 등급 (ISO 5) 의 클린룸에서 최적의 작동을 위해 설계되었으며, 습식 스테이션의 상태를 원격 제어 및 모니터링하기 위해 중앙 프로세스 컨트롤러 (Central Process Controller) 에 연결할 수 있습니다. "스테이션 '에는 기계 부품 을 손상 시킬 수 있는 원치 않는 난방 이나" 스케일링' 을 방지 하기 위하여 "온도 '와 압력 과 같은 단위" 파라미터' 를 감시 하는 통합 안전 장치 가 갖추어져 있다. 컴퓨터가 자동 정지 (auto-stop) 모드에서 실행되도록 설정할 수 있습니다. 즉, 예기치 않은 전원 강하 또는 서지가 발생할 경우 프로세스가 중지됩니다. @ info: whatsthis "스테이션 '은 간단 한" 인터페이스' 로 쉽고 안전 하게 사용 하도록 설계 되었다. 스테이션의 호스와 노즐은 정적 (anti-static) 및 침식 방지 (anti-erosion) 기능으로 설계되어 청소 프로세스가 오염 또는 부식없이 실행되도록 합니다. 전면 패널을 사용하면 수온과 흐름, 압력, 세제 비율, 주기 시간, 주기 수 등 모든 관련 매개변수를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한, 자산은 사용자의 편의를 위해 지난 10 주기와 관련된 데이터를 저장할 수 있습니다. SES BW 3000은 자동화된 Cleanroom 습식 프로세스 관리를 위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 이 장치는 내구성 (내구성) 과 수명 (수명) 을 위해 설계되었으며, 사용자에게 프로세스의 정확성과 반복성이 향상되었습니다. 또한, 이 장치의 안전 시스템 (Safety System) 과 간단한 인터페이스 (Interface) 는 습식 스테이션의 안전하고 효율적인 작동을 보장합니다.
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