판매용 중고 SCREEN FC-3000 #9384193

SCREEN FC-3000 습식 스테이션은 자동화된 단일 작업에서 photolithography 웨이퍼를 처리하도록 설계된 올인원 (all-in-one) 습식 스테이션입니다. FC-3000 은 완전한 프로세스 자동화를 위해 로봇 암과 유연한 처리 시스템을 사용합니다. SCREEN FC-3000의 주요 구성 요소는 습식 스테이션, 세척 절차 모듈, 클리닝 모듈, SPD 모듈, 포스트 에치 모듈 및 제어 소프트웨어입니다. 습식 스테이션은 6 단계 펌프 기술을 갖춘 500 리터 탱크입니다. 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 있으며 다양한 처리 응용 프로그램의 온도 및 pH 수준을 유지할 수 있습니다. 세척 절차 모듈은 웨이퍼 인쇄, 스크러빙 및 세탁에 사용됩니다. 이 제품은 처리량 및 효율성 향상을 위해 최대 16 개의 매개 변수를 갖춘 완전 프로그래밍 가능한 자동 워시 프로세스 사이클 (automatic wash process cycle) 을 제공합니다. 청소 모듈은 웨이퍼에 대해 깨끗한 작업 환경을 제공합니다. SPD 모듈은 오염 물질을 완전히 제거하기 위해 스프레이 및 배수 작업에 사용됩니다. 포스트 에치 모듈은 드릴링 및 가스 블레이징 (gas blazing) 과 같은 에치 후 작업에 사용됩니다. 그것은 균일하고 완전한 커버리지를 제공하기 위해 엇갈린 스프레이 노즐 기술을 포함합니다. 또한 FC-3000 은 touch SCREEN 사용자 인터페이스를 통해 효율적인 설정 및 작동을 위한 완전 자동 제어 시스템을 제공합니다. 여러 프로세스를 관리하고 주기 작동, 온도, 압력 등과 관련된 데이터를 제공할 수 있습니다. 고급 안전 (Advanced Safety) 기능은 오염과 위험 요소가 낮아 안전한 작동을 보장합니다. 또한 SCREEN FC-3000을 다른 시스템과 통합하여 프로세스 제어를 강화할 수 있습니다. FC-3000 습식 스테이션은 photolithography 웨이퍼 처리를 위해 안정적이고 강력한 솔루션입니다. 효율적인 운영/유지 관리를 위한 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 완전하게 자동화된 프로세스를 통해 다양한 애플리케이션에 적합하며, 신속한 운영 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 견고한 구조와 고급 안전 기능을 갖춘 SCREEN FC-3000 은 모든 photolithography 프로세스에 이상적인 선택입니다.