판매용 중고 OHSUNG LST Aqua regia / MO #9392184

OHSUNG LST Aqua regia/MO는 웨이퍼 기판을 처리하도록 설계된 OHSUNG LST Corporation에서 생산 한 습식 스테이션입니다. 전해법을 사용하여, 습식 스테이션은 웨이퍼 표면을 청소하고 에치 (etch) 하여 후속 생산 공정에 대비한다. 이 습식 "스테이션 '은 특히" 마스크' 를 적용 하지 않고 "웨이퍼 '를 처리 할 수 있기 때문 에" 메모리' 저장 장치 의 생산 에 잘 적응 되어 추가 의 제작 단계 가 필요 치 않다. 습식 스테이션은 2 개의 주요 모듈로 구성되며, 산-에칭 챔버와 전해질 처리 섹션을 포함하는 첫 번째 모듈입니다. 산-에칭 챔버 (acid-etching chamber) 는 웨이퍼 표면을 청소하고 아쿠아 레지아 (aqua regia) 를 사용하여 기질을 에칭하는 데 사용되며, 이는 염소와 질산의 매우 강한 혼합물이다. 전해질 처리 섹션은 웨이퍼 표면에서 전기 도금 및 전기 화학 에칭 (eching) 과 같은 전기 화학 치료에 사용된다. 두 번째 "모듈 '은 전해질 용액 을 함유 하고 있는 혼합 용액 이며, 용액 내 에 있는 여러 가지 화학 물질 의 농도 를 조절 하는 데 사용 된다. 이 "모듈 '은 정밀 한 온도" 컨트롤러' 를 가지고 있는데, 이 "컨트롤러 '는 전해질 처리 를 위한 주요 매개변수 중 하나 인 온도 의 정확 한 조절 을 보장 해 준다. 습식 발전소 (Wet Station) 는 산업용 전원을 사용하여 2 개의 챔버에 전력을 공급하여 광범위한 공정 매개변수 (Process Parameter) 의 작동을 허용합니다. 스테이션은 사용자가 다양한 프로세스 변수 (예: 온도, 전압, 전류) 를 프로그래밍할 수 있는 제어 시스템을 사용하여 작동합니다. 습식 스테이션 (Wet Station) 에는 운영자와 환경을 보호하기 위해 설계된 포괄적인 안전 (Safety) 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 한계가 초과 될 때 자동으로 프로세스를 종료하는 안전 차단 시스템 (safety shut-off system) 과 독성 및 부식 성 증기의 방출을 제거하는 푸메 후드 (fume hoood) 가 포함됩니다. 아쿠아 레지아/MO (Aqua regia/MO) 는 웨이퍼 기판 처리에 우수한 결과를 제공하도록 설계된 고급 습식 공정 스테이션입니다. 정확한 온도 및 전압 제어, 포괄적인 안전 기능, 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 을 통해 메모리 저장 장치를 생산할 수 있습니다.