판매용 중고 LAM RESEARCH DV Prime #9119740

LAM RESEARCH DV Prime Platform (LAM RESEARCH DV 프라임 플랫폼) 은 반도체 산업 내 다양한 응용 분야에서 프로세스와 성능을 향상시키기 위해 설계된 Wet Station입니다. 다양한 동시 작업을 처리할 수 있으며, 광범위한 애플리케이션을 위한 유연성 (Flexibility) 과 높은 처리량 (Throughput) 을 제공합니다. 이 장비는 D-View (D-View) 패키지를 기반으로 제작되었으며, 이 패키지는 사용자가 도구의 가동 중지 시간을 줄이고 모든 응용 프로그램에서 최상의 성능을 얻을 수 있도록 도와줍니다. Wet Station에는 수동 및 자동 도구 작동이 가능한 소프트웨어 패키지가 있습니다. 또한 "레시피 '를 특정 한 과정 에 맞게 조정 하여 최적 의 결과 를 거둘 수 있는 능력 도 있다. 이것은 에치, 증착 및 청소 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. DV Prime Platform은 견고한 설계를 제공하며 다양한 혁신적인 구성 요소를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 Modular Multiprocessor Unit Controller를 사용하여 분산 제어 아키텍처를 통해 여러 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 제어 기계는 광범위한 전력, 전기 화학, 전기 기계, 가스 및 유체 전달 부품을 작동 할 수 있습니다. 또한 습식 스테이션 (Wet Station) 에는 프로세스를 최적화하면서 안정성과 정확성을 보장하도록 설계된 여러 구성 요소가 있습니다. 여기에는 입자 오염을 줄이기 위한 클린 챔버, 자동화를 용이하게하기위한 진공 전사 모듈 (Vacuum Transfer Module) 및 효율적인 샘플 로딩을위한 로드 잠금 (Load Lock) 스테이션이 포함됩니다. Remote Plasma Controller, Cold Wall 및 Active Sample Cassette와 같은 특수 챔버는 고급 프로세스에 광범위한 기능을 제공합니다. 또한, 이 툴은 유연한 구성을 통해 사용자 정의 (custom) 성능 및 대부분의 다른 장비와의 통합을 지원합니다. 이는 다양한 소프트웨어 패키지와의 자산 호환성, 여러 컨트롤러를 하나의 플랫폼 (platform) 에 연결하는 기능 등에 의해 촉진됩니다. 추가 기능은 OPC Server에서 지원되므로 더 빠른 데이터 스트리밍과 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 제공합니다. LAM RESEARCH DV Prime Platform은 포괄적이고 유연하며 효율적인 습식 스테이션을 제공합니다. 또한, 전담 서비스 담당자 팀이 신뢰할 수 있고, 사용하기 쉽고, 지원합니다. 이 젖은 "스테이션 '은 반도체 공정 에 이상적 인 선택 이며, 그것 은 가치 있는 투자 가 된다.