판매용 중고 JST ST0142A0 #9188197

JST ST0142A0 습식 스테이션은 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 자동 습식 처리 장비입니다. 이 시스템은 우수한 품질 관리 기능을 제공하며, 다른 반도체 처리 장비와 통합될 수 있습니다. ST0142A0은 메인프레임, 엔드 스테이지/포스 테이블, 습식 프로세스 암, 제어 모듈 등 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 메인 프레임에는 엔드 스테이지/포스 테이블 (end stage/force table) 과 습식 공정 암 (wet process arm) 이 있으며 경량 알루미늄 합금 재료로 구성됩니다. 견고한 디자인은 소음 전송을 최소화하고 신뢰성을 보장합니다. 끝 단계/힘 테이블은 평균 속도 0.25 m/s의 3 개의 축을 따라 이동할 수 있습니다. X축은 왼쪽/오른쪽 이동을, Y축은 위/아래 이동을, Z축은 힘 및 기울기를 제공합니다. 적용되는 힘은 0-1000kgf에서 조정할 수 있습니다. 또한, 끝 단계/힘 테이블은 평균 속도 0.31 m/s의 단일 축으로 회전 할 수 있습니다. 젖은 공정 암은 4 축의 움직이는 알루미늄 플렉스 암으로 구성됩니다. 여기에는 평균 속도는 3mm/s, 도달 속도는 200mm 인 X/Y 축과 평균 속도는 2도/s, 도달 속도는 20도인 롤/틸트 축이 포함됩니다. 습식 공정 암 (wet process arm) 은 최대 3kg의 힘을 자동 캐링할 수 있으며, 청소 재료의 정확하고 정확한 계량을 위해 4 개의 노즐 흐름 밸브가 장착되어 있습니다. JST ST0142A0 습식 스테이션의 제어 모듈에는 수동 및 소프트웨어 기반 작업이 모두 포함됩니다. 수동 모드에서 사용자는 모든 습식 프로세스 기능을 수동으로 제어할 수 있습니다. 소프트웨어 기반 운영을 통해 사용자는 다양한 자동 습식 (automated wet) 프로세스 레시피 프로그래밍, 오염 수준 분석 및 제어, 습식 프로세스 사용자 정의 등을 수행할 수 있습니다. ST0142A0 습식 스테이션 (wet station) 은 청소 (cleaning) 및 표면 준비 (surface preparation) 를 포함하여 반도체 제조 프로세스에 관련된 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 이 장치는 최적화된 설계와 뛰어난 자동화 기능으로, 안정적이고 고품질의 습식 처리 (wet processing) 시스템을 원하는 사용자에게 이상적인 선택이 됩니다.