판매용 중고 IMTEC STAR 2000 #9399876

IMTEC STAR 2000 습식 스테이션은 고급 반도체 처리를 위해 고가용성 및 다용도 기계입니다. 에칭, 스퍼터링, 클리닝, 증착, 산화물 연마 등 다양한 고출력 프로세스에 적합합니다. 습식 스테이션 (Wet Station) 에는 강력한 XYZ 제어 포지셔닝 장비가 장착되어 있으며, 생산성과 고성능을 보장하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 이중 팔 이동이있는 액체 디스펜서가 장착되어 있습니다. 수중 머리 (submersion head), 수평 팔 (horizontal arm) 및 수직 팔 (vertical arm) 로 구성되어 있으며 원하는 위치로 이동하여 웨이퍼를 처리합니다. 습식 스테이션은 전동 부피 급지대를 사용하여 정밀하고 자동 투여를 가능하게합니다. 습식 스테이션 (wet station) 에는 또한 스테이션의 기능을 제어하도록 설계된 프로그래밍 가능한 마이크로 프로세서가 있습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 유형의 필름 (film) 및 프로세스 관련 매개변수를 쉽게 생성할 수 있습니다. 또한, 습식 스테이션은보다 정확한 처리를 위해 온도, 압력 및 기타 매개 변수를 기록하고 표시 할 수있는 마이크로 SPC (micro SPC) 를 갖습니다. 습식 "스테이션 '에는 또한 유해 물질 을 탐지 하고 예방 할 수 있는 고급 안전 장치 가 설치 되어 있다. 또한 질소, 산소, 아르곤과 같은 반응성 및 부식 가스의 분산을위한 질소 생성기가 있습니다. 이 역에는 폐기물 수집기 (Waste Collection Machine) 도 포함되어 있으며, 다양한 습식 가공 단계에서 폐수를 캡처하고 저장합니다. 또한, 습식 스테이션에는 스위칭 전원 공급 장치 (switching power supply) 가 장착되어 있어 균등하고 안정적인 전원 공급 장치를 제공합니다. 또한 자동 온도 보상 도구 (Automatic Temperation Compensation Tool) 가 있어, 환경 상에 관계없이 처리 조건이 항상 일관됩니다. STAR 2000 습식 스테이션 (wet station) 은 고급 반도체 처리를 위한 매우 효율적이고 비용 효율적인 도구이며, 다양한 습식 처리 작업에 사용할 수 있습니다. 광범위한 고급 기능과 사용자 친화적 인 디자인으로 인해 강수, 에칭 (etching), 스퍼터링 (sputtering), 청소 (cleaning) 프로세스를 수행하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.