판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Magellan #9400272

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellan은 반도체 산업의 요구 사항을 충족하도록 설계된 습식 처리 스테이션입니다. 스핀 온 유전체, 리프트 오프, 에칭 및 증착과 같은 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. FSI Magellan은 최대 400 x 500mm 크기의 대형 기판을 처리 할 수 있습니다. TEL Magellan은 높은 종횡비 간극, 리프트 오프 및 스틱 제어와 같은 다양한 고급 리소그래피 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 정밀 이중 축 광학 단계를 가지고 있으며, 최대 변환 속도는 0.5/s, 위치 정확도는 1.5 nm입니다. 스테이지는 최대 1.5 N의 처리 힘으로 1 인치에서 8 인치까지 웨이퍼를 지원할 수 있습니다. 마젤란 (Magellan) 은 정확한 타이밍 제어를 위해 수상 경력에 빛나는 전자 빔 석판화 장비를 갖추고 있습니다. 통합 시스템은 다양한 프로그램 가능한 전력 전극과 호환되며, 정확한 전압과 전류 조합을 가능하게합니다. 이 장치는 최대 해상도 (최대 해상도: 5.5 m) 의 고해상도 이미지를 제공 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Magellan은 수성, 유기, 독성과 같은 여러 가지 단일 웨이퍼 공정 화학 물질과 호환됩니다. 이 스테이션에는 스크러빙, 에칭, 증착과 같은 다양한 자동 습식 화학 공정이 장착되어 있습니다. 통합된 Automated Machine 은 정확한 제어 기능을 통해 대용량 프로세스를 실행할 수 있습니다. 또한, 스테이션에는 종합적인 안전 및 환경 보호 장비가 장착되어 있습니다. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellan은 생산성을 극대화하고 빠른 처리 속도로 오류 없는 처리를 용이하게하도록 설계되었습니다. 스테이션은 사용자 친화적이며 빠르고 간단한 설치를 제공합니다. 이 스테이션은 또한 레시피 관리 (recipe management) 및 프로세스 모니터링 (process monitoring) 을 포함한 다양한 기능으로 직관적인 운영을 제공합니다. FSI Magellan은 FSI 'Easy-to-Use' 소프트웨어에서 지원되며, 이를 통해 사용자는 자체 프로세스 레시피를 개발하고 데이터를 저장할 수 있습니다. TEL 마젤란 (TEL Magellan) 은 간단한 에칭에서 매우 복잡한 리소그래피에 이르기까지 다양한 프로세스를 제공 할 수있는 다기능 습식 스테이션입니다. 대용량 (high-volume) 및 고정밀도 (high-accuracy) 어플리케이션을 지원하도록 설계되었으며 빠른 생산성 향상을 지원합니다. Magellan은 또한 포괄적인 안전 및 환경 보호 수단과 함께 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다.