판매용 중고 ENTEGRIS Box cleaner #293667203

ENTEGRIS Box cleaner
ID: 293667203
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
12" 2003 vintage.
습식 스테이션이라고도하는 ENTEGRIS Box 클리너 (ENTEGRIS Box cleaner) 는 다양한 청소 작업을 수행하기 위해 반도체 및 태양 광 제작에 사용되는 자동 장비입니다. 클리닝 성능의 변형을 최소화하면서 일관된 프로세스 결과를 제공할 수 있습니다. 박스 클리너 (Box cleaner) 의 주요 목적은 반도체 공정 상자의 내부 서피스를 청소하는 것입니다. ENTEGRIS Box 클리너는 작업 실, 컨베이어 및 스프레이어 어셈블리로 구성됩니다. 스프레이어 (sprayer) 어셈블리는 펌프, 재순환 파이핑 세트 및 필터 어셈블리로 구성된 재순환 시스템과 통합됩니다. 스프레이어 (sprayer) 어셈블리는 프로세스 상자 내부의 대상 영역에 클리닝 솔루션을 스프레이하는 데 사용되며, 컨베이어 (conveyor) 는 습식 스테이션 (wet station) 을 통해 프로세스 상자를 이동하는 데 사용됩니다. 프로세스 상자가 작업 챔버 (Work Chamber) 로 들어가면 Box 클리너 (Box Cleaner) 작업이 수행되도록 올바른 위치에 컨베이어에 배치됩니다. 컨베이어는 작업 실을 가로 질러 상자를 운반합니다. 이 과정에서 노즐 (Nozzle) 은 상자의 대상 서피스에 클리닝 용액을 뿌리고 재순환 장치 (Recirculation Unit) 는 용액을 재사용하고 일정한 온도에서 유지하도록 합니다. 청소 과정 이 끝나면, "리프트 '" 플랫폼' 은 "박스 '를" 컨베이어' 와 건조 "스테이션 '으로 들어 올린다. 상자 는 "노즐 '을 통해 압축 공기 를 사용 하여 말려서" 박스' 에서 수분 을 제거 하는 데 도움 이 된다. 엔테그리스 박스 (ENTEGRIS Box) 클리너 (cleaner) 를 사용하면 저장되는 부품과 컴포넌트에 대해 일관되게 깨끗한 서피스를 제공하여 프로세스 상자의 정결성과 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 재순환기 는 청소 과정 에서 생기는 낭비 를 감소 시키고, 궁극적 으로 돈 과 자원 을 절약 하는 데 도움 이 된다. 그렇다. 이 자동화된 공구는 반도체 프로세스 박스의 내부 서피스를 청소하는 데 효율적이고 효과적인 솔루션입니다.
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