판매용 중고 DNS / DAINIPPON WS-820L #293815967
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ID: 293815967
Wet station
Process: RCA Back-End (BE)
Used for:
HF treatments (HF100:1, HF10:1)
Standard RCA cleaning (SC1, SC2)
Edge deletion/removal (EDR, QDR)
Final rinse & drying (FR, LPD).
DNS/DAINIPPON WS-820L 습식 스테이션은 도량형 클래스 사전 정렬 기이며, 박막 처리 전에 기판을 정확하고 정확하게 정렬하도록 설계되었습니다. 습식 스테이션 (wet station) 은 초음파 목욕 탱크 (ultrasonic bath tank) 와 동요 된 동요 탱크 (agitation tank) 를 사용하여 기질의 최적의 표면 제거 및 에칭을 달성합니다. 기판은 X, Y 및 Z축에서 DNS WS820L의 조절 가능한 플랫폼에서 기계적으로 미리 정렬됩니다. DAINIPPON WS 820L의 독특한 디자인은 완전 자동 정렬과 정확한 온도 및 초음파 제어를 결합합니다. 이것은 완벽하게 간격을 둔 전극을 생성하도록 설계된 고효율적이고, 자기 조절 (self-adjusting) 프로세스를 만들어, 최소한의 인간 개입으로 일관되게 균일하게 정렬됩니다. 도량형 초음파 (metrology grade ultrasonic waves) 를 사용하면 납북 과정에서 기판이 평평하고 균등하게 간격이 유지되므로 결함이없는 안정적인 연결이 가능합니다. DNS/DAINIPPON WS 820L은 또한 제조 프로세스 사이의 온도를 조정 할 수있는 프로그래밍 가능한 온도 목욕을 특징으로합니다. 이를 통해 기판 처리에 필요한 온도를 설정하고 유지 (Mainting) 하여 정확한 제품 성능을 보장할 수 있습니다. 또한, LCD 디스플레이는 설치 및 문제 해결을 용이하게 하는 단계별 지침과 더불어 상세한 작동 정보를 제공합니다. WS-820L은 친환경적이고 효율적인 처리 시스템도 제공합니다. 내장형 물 관리 시스템은 모든 수준의 물 사용량을 프로세스 전반에 걸쳐 모니터링합니다. 재순환 반환 탱크 (Ren-circulating Return Tank) 외에도 물은 낭비되지 않도록 보장하고, 자원을 보존하고 환경을 보존하는 데 도움이됩니다. 결론적으로, WS 820L 습식 스테이션은 박막 증착 전에 정확한 기판 정렬을 위해 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 도량형 초음파 사용, 조절 가능한 온도 및 내장형 LCD 디스플레이는 정확성과 정확도를 제공합니다. 또한 내장형 수자원 관리 시스템을 통해 DNS/DAINIPPON WS820L 은 다양한 애플리케이션에 적합한 친환경적이고 효율적인 툴입니다.
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