판매용 중고 DNS / DAINIPPON WS-820C #9152514
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ID: 9152514
빈티지: 1995
Wet station
Load
CHCL Shower N2 blow
DHF
Q Etch
EDR
IPA Dryer
Unload
1995 vintage.
DNS/DAINIPPON WS-820C 습식 스테이션은 고품질 웨이퍼 처리를 완료하기 위해 필요한 필수 습식 벤치 장비입니다. 최대 효율, 최소 운영자 상호 작용, 반복 가능, 매우 정확한 결과를 얻을 수 있도록 설계된 완전 자동화, 단일 스테이션 (Single Station) 또는 이중 스테이션, 정밀 제어 습식 처리 장비입니다. 하드웨어 구성에는 합금 스테퍼, 양면 동력 플랫폼, 2 개의 매니 폴드 및 습식 공정 탱크, 백사이드 선별 (DI) 링크 탱크 및 공정 주기당 여러 웨이퍼를 처리하기위한 통합 전달 시스템이 포함됩니다. 이 장치는 뛰어난 온도, 화학 솔루션 안정성, 뛰어난 기계 제어 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 프로그래밍 가능한 웨이퍼 인덱싱 및 중첩 된 웨이퍼 처리, 동기식 저류 및 고압 작동, 웨이퍼 및 캐리어 처리 (positioner), 잉크젯 웨이퍼 (inkjet wafer) 식별 및 수동 및 자동 모드, 장애 감지, 복구 기능 등 데이터 제어를 위한 완전 디지털 도구. 복수 웨이퍼 처리를 위한 통합 컨베이어를 갖춘 양면 (양면) 플랫폼은 대형 프로세스 및 린스 (Rinse) 탱크와 함께 작동하여 선형 (Linear) 이동 기능을 제공하여 높은 정밀 동작 및 반복성 제어를 지원합니다. 또한, 에셋에는 DI 탱크 (DI tank) 가 포함되어 있으며, 웨이퍼 (wafer) 의 뒷면 압력을 사용하여 웨이퍼가 탱크 표면에 붙지 않도록 방지하고 수동 작동을 허용합니다. 통합 온보드 컴퓨터는 프로세스 레시피를 통해 모델을 완벽하게 제어하며, 전체 추적 기능, 프로세스 매개 변수, 장애 감지 (fault detection), 비상 정지 (emergency stop), 흐름 (flow), 압력 모니터링 및 복구 기능을 제공합니다. mis-event 예방 및 추적 시스템에는 완전한 검증 기능도 있습니다. DNS WS-820C는 STATS, CALC, MPS 등 세계에서 가장 인기있는 소프트웨어 제품군과 완벽하게 호환되며, 레시피 준비 및 구현 기능을 제공합니다. 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 작업을 모두 수행하는 전체 레시피 라이브러리는 시간이 지나면 재현 가능한 결과 시간을 제공합니다. 습식 스테이션은 DAINIPPON WS820C, WS-820CR 및 WS-820W의 세 가지 모델로 제공됩니다. 또한 특정 응용 프로그램 및 요구에 맞게 맞춤 된 다양한 구성 및 액세서-ie를 제공합니다. DNS/DAINIPPON WS820C 모델은 특히 웨이퍼 클리닝을 위해 설계되었으며 RJSTX-200 스탠드는 웨이퍼 노출 프로세스에 이상적입니다. WS-820W 패키지에는 통합 웨이퍼 처킹 장비, 가스 캐비닛, 보조 컨트롤러 및 다양한 공압 제어 장치가 포함됩니다.
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