판매용 중고 DNS / DAINIPPON SU-3200 #293617642
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ID: 293617642
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2014
Wafer cleaning system, 12"
Process : Spray clean
Chemical: SC1 / DHF / H2SO4 / O3
(12) Chambers
Factory interface: (4) FOUP
KAWASAKI High speeds IR / CR handler
2014 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3200 습식 스테이션은 DNS가 더 높은 정밀 처리 성능을 제공하기 위해 개발 한 고급 습식 처리 장비입니다. 에칭, 청소, 코팅, 건조 등 다양한 습식 가공 작업에 사용되는 습식 스테이션입니다. DNS SU-3200은 반도체 등급 에칭 탱크, 이중 챔버 CPT 코팅 장비, 고급 청소 및 건조 부품, 포토 esist 개발/스트립 시스템 등 고급 처리 기능을 제공하는 광범위한 고급 습식 처리 모듈을 갖추고 있습니다. IEC (International Electrotechnical Commission) 요구 사항을 준수하여 생산 생산량의 정확성과 반복성을 향상시킵니다. DAINIPPON SU 3200 (DAINIPPON SU 3200) 은 고도로 자동화된 습식 스테이션으로 많은 습식 처리 조건을 자동화하여 일관된 품질 결과를 보장합니다. 예를 들어, 에칭 단위 (etching unit) 에는 각 프로젝트의 요구 사항에 따라 다른 에칭 솔루션을 설정할 수 있는 다양한 지능형 매개변수가 포함됩니다. 또한, 장치에는 도구 모니터 머신이 통합되어 선/로드 변형, 습도와 같은 데이터를 지속적으로 모니터링하고 표시합니다. DNS SU 3200에는 에칭 온도를 제어 할 수있는 정수 (water purification) 및 재순환 도구가 장착되어 오염이없는 솔루션이 보장됩니다. 또한 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 경보 (Alarm) 를 통한 안전을 위해 설계되어 화학 다공성 및 스플래싱을 방지합니다. 게다가, 보다 효율적인 처리를 위해 독립적 인 습식 가공 및 건조 조건을 허용합니다. SU 3200 은 크기가 컴팩트하며, 설치 및 운영에 유연성을 제공하며, 작동하기 쉬운 사용자 인터페이스를 제공하여 습식 (wet) 프로세스를 원활하게 작동할 수 있습니다. 다른 기능으로는 추적 가능성 자산, 사용자 정의 가능한 출력 데이터 형식 및 원격 진단이 있습니다. SU-3200 습식 스테이션은 정밀도, 정확도, 안전 및 반복성이 필수적인 반도체 습식 처리 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. EMC DL 시리즈 는 포괄적인 기능과 뛰어난 자동화 기능을 제공하여, 안정적이고 반복적으로 활용할 수 있는 결과를 통해 운영 요구 사항을 신속하고 효율적으로 충족할 수 있게 해 줍니다 (영문).
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