판매용 중고 DNS / DAINIPPON SU-3100 #9208159

DNS/DAINIPPON SU-3100 (DNS/DAINIPPON SU-3100) 은 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 및 기타 기판의 최대 처리를 위해 설계된 습식 스테이션입니다. 최대 450mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 단일 웨이퍼 (single wafer) 및 이중 웨이퍼 (dual wafer) 처리 모두에서 정확하고 균일 한 에칭을 제공합니다. 스테이션은 중앙 처리 탱크 (Central Processing Tank) 와 내부 부품, 웨이퍼 (Wafer) 운송 로봇 및 제어 장비의 여러 부분으로 구성됩니다. 중앙 처리 탱크는 스테인리스 스틸 (stainless-steel) 로 만들어졌으며 3000rpm의 속도로 자력을 발휘합니다. 통합 스크레이퍼를 사용하면 모든 재료를 완전히 활용하고 아무 것도 낭비되지 않습니다. "탱크 '는 안전 하게" 웨이퍼' 용액 을 제거 하고 교체 하기 위하여 정제 할 수 있으며 최대 5 "바아 '로 압력 을 가할 수 있다. DNS SU-3100의 웨이퍼 운송 로봇은 가장 혁신적인 기능 중 하나입니다. 최소한의 처리 (handling) 를 통해 로딩 영역에서 중앙 처리 탱크 (central processing tank) 로 웨이퍼를 안전하게 이동할 수 있도록 설계되었습니다. 여기에는 고급 피드백 (feedback) 시스템을 사용하여 처리 탱크 내부를 탐색하는 헥사포드 (hexapod) 로봇이 포함됩니다. 일단 "웨이퍼 '가 안전 히 위치 해 있으면," 로봇' 암 은 그것 들 을 조작 하고, 돌리고, 정렬 을 조정 하고, 에칭 을 위해 위치 를 정한다. 또한 DAINIPPON SU 3100 에는 식각 프로세스의 정확성과 반복성을 보장하는 강력한 제어 장치가 있습니다. 이 기계에는 에칭 프로세스 관리를위한 최신 소프트웨어가 포함 된 산업용 PC (industrial PC) 와 유속, 온도, 점도, 압력 등 매개변수를 모니터링하고 조정하는 디지털 미터 (digital meter) 세트가 포함되어 있습니다. 요약하면, DAINIPPON SU-3100은 반도체 산업에 최적화되어 가장 정밀하게 최대 450mm 직경의 재료를 에치 할 수있는 습식 스테이션 (wet station) 입니다. 스테인리스 스틸 처리 "탱크 '는 자기적 으로 교반 되고 순수 하며," 와퍼' 수송 "로봇 '은 안전 하고 자동화 된 취급 을 제공 한다. 마지막으로, 강력한 제어 도구를 다양한 에칭 요구 사항에 맞게 프로그래밍 할 수 있습니다.