판매용 중고 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293757950
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ID: 293757950
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Wafer cleaning system, 12"
Process: DNS-SU3100-8ch_BEOL_SWC (DHF 800:1 Process)
Index Robot
Shuttle Robot
Center Robot
(4) Front Opening Unified Pods (FOUP)
2008 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100 습식 스테이션은 반도체 가공, 사진 분석 및 전자 회로 제조 분야에 적용하기위한 종합적인 습식 스테이션입니다. 습식 스테이션 (wet station) 의 고급 모델로, 제조 및 청소 과정에서 탁월한 수준의 정밀도, 정확도, 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. DNS SU-3100 습식 스테이션은 기본 장치 (Base Unit) 와 습식 처리 어플리케이션을 지원하도록 설계된 일련의 모듈식 애드온 (Modular Add-on) 으로 구성됩니다. 기본 장치는 다기능 모듈, 제어 콘솔, 마그네틱 테이프 드라이브로 구성됩니다. 다기능 모듈은 습식 스테이션 (Wet Station) 과 엔드 유저 (End User) 간의 주 인터페이스를 제공하며 스프레이 탱크 (Spraying Tank), 화학 목욕 (Chemical Bath) 및 화학 재순환 시스템으로 구성 할 수 있습니다. 제어 콘솔 (Control Console) 은 습식 스테이션의 작동을 제어하는 데 사용되며, 사용자는 온도, 압력, 유량 (Flow Rate) 과 같은 작동 매개변수를 선택하여 조정할 수 있습니다. 마그네틱 테이프 드라이브 (magnetic tape drive) 는 습식 스테이션이 프로그램을 저장하고 리콜할 수 있도록 하는 데 사용되므로, 끊임없이 재프로그래밍할 필요가 없습니다. DAINIPPON SU 3100 wet station에 사용할 수 있는 모듈식 애드온은 최종 사용자의 특정 요구를 충족시키기 위해 스테이션을 사용자 정의하는 데 사용할 수 있습니다. 일반적인 추가 기능에는 자동 화학 전달 시스템, 화학 목욕 프리 히터 및 자동 웨이퍼 텀블링 메커니즘이 포함됩니다. 자동 화학전달시스템 (Automated Chemical Delivery System) 을 이용하면 수작업 없이 화학물질을 빠르고 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 화학 목욕 "프리히터 '를 사용 하여 화학 목욕 과 재순환" 시스템' 의 온도 를 일관성 있는 수준 으로 유지 하여 최적 의 성능 을 보장 할 수 있다. 마지막으로, 자동 웨이퍼 텀블링 (automated wafer tumbling) 메커니즘은 목욕에서 웨이퍼를 뒤집는 과정을 자동화하여 웨이퍼의 모든 면이 화학 물질에 노출되도록 합니다. DNS SU 3100 습식 스테이션은 정밀도와 정확도가 가장 중요한 어플리케이션에 사용하도록 설계되었습니다. 이 습식 스테이션 (Wet Station) 은 안정성이 높으며, 실패없이 장기 운영을 견딜 수 있으며, 수년간 신뢰할 수 있는 서비스를 제공하기위한 것입니다. 모듈식 디자인 (modular design) 과 수많은 애드온 (add-on) 으로, 이 습식 스테이션은 다양한 사용자의 요구에 맞게 맞춤형으로 조정할 수 있습니다.
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