판매용 중고 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293617641
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ID: 293617641
빈티지: 2010
Wet station
(8) Chambers
Chemicals: BOE, HF, O3
Does not include PC
2010 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100 Wet Station은 광범위한 반도체 생산 프로세스에 사용하도록 설계된 통합 습식 프로세서입니다. 강력한 고정밀, 다이렉트 드라이브 모터 컨트롤을 사용하여 리소그래피, CMP (chemical-mechanical polishing), 드라이 엠보싱, 증착 등 다양한 용도를 지원합니다. DNS SU-3100 (DNS SU-3100) 은 작업 공간에 쉽게 맞는 컴팩트한 디자인의 생산 라인의 정밀 구성 요소입니다. 단일 피스 스테인리스 스틸 구조가 특징이며 무게는 최대 400kg입니다. 또한 DAINIPPON SU 3100 은 사용이 간편한 종합적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있어 효율적이고 정확한 레시피 파일을 제공합니다. DNS/DAINIPPON SU 3100의 범위와 정확도는 최대 속도 15m/min 및 ± 0.1mm의 높은 처리량 프로세스에 최적화되어 있습니다. SU-3100은 또한 온도가 실내 온도에서 850 ° C에 이르는 완전 자동화 된 프로그래밍 가능한 온도 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 DNS SU 3100 은 사용자 친화적이고 직관적인 설계 외에도, 유지 보수 작업을 보다 간편하게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 스테인리스 (Stainless) 스틸 욕조 및 인클로저 (Enclosure) 는 청소가 용이하도록 제조되며, 내부 부품에 직접 액세스 할 수있는 전면 도어가 있습니다. 또한 높은 pH 경보, 온도 센서, 오일 바스 (oil bath) 레벨 표시기 등 다양한 진단 및 표시기가 내장되어 있습니다. SU 3100은 스퍼터링, PVD (physical vapor deposition), EBD (electron beam deposition), 전기 도금 및 CAT (computerized axial tomography) 스캔을 포함한 다양한 생산 응용 분야에 적합합니다. 또한, 자동화 제어, Control-loop 피드백 시스템, 분산 제어 시스템 등 다양한 사용자 정의 및 애드온을 장치에 통합 할 수 있습니다. DAINIPPON SU-3100 (DAINIPPON SU-3100) 은 안정성과 유연성을 극대화하도록 설계되었으며, 다양한 습식 처리 어플리케이션에 사용하기에 적합합니다. 견고한 설계, 직관적인 사용자 인터페이스 및 다양한 어플리케이션 범위를 통해 DNS/DAINIPPON SU-3100은 높은 수준의 정확성과 정확성이 필요한 프로덕션 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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