판매용 중고 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293615278
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ID: 293615278
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
Wet station, 12"
PR Strip process (DECAP)
PC
(8) Chambers
Chemical: SC-1, SPM
Temperature (SPM / SC-1): 50°C-150°C / 30°C-120°C
Handler
(4) Load ports
Chemical units: H2SO4, H2O2, NH4OH, DHF
Overhead Transport System (OHT)
YASUKAWA ELECTRIC CORPORATION XU-ACT153L-H01 ID/R
CAMBRIDGE Filter GA5-445480E-SWLER FFU
Capacity: 99.9999 <% or more of 0.1 µm particle
Test (m³/min): 5.6 at 120 pa
Range of air control: 0.4 m/sec
Shield plate
Spin base:
Material: PCTFE
Spin motor: AC Servo motor
Revolution: Maximum 3000 rpm
Revolution accuracy: ±3 rpm
Chuck:
Drive: Pulse motor
Material: PCTFE, ETFE
Wafer detection: Detection by chuck pins
Shield plate:
Material: HT-PVC
Revolution drive: AC Servo motor
Revolution: Maximum 3000 rpm
Acceleration: Maximum 1000 rpm/sec
Revolution accuracy: ±3 rpm
Shift: AC Servo motor
Wafer surface distance : Minimum 0.3 mm
Splash guard:
Structure: Chemical collection
Material: PTFE
Shift: AC Servo motor
Sputter:
Drive: Air cylinder
Chemical cabinet-1,2: Temperature control of low temperature
Chemical used: SPM, SC-1
Mixing ratio: Premix
SPM: 50-150°C
SC-1: 30-120°C
Circulation pump: PILLAR
In-line heater
E-Flow:
SD16L-24SHR E Module
HORIBA HE-480-DC Resistivity meter
ESD-001C-T Resistivity sensor
CK-10M Sensor cable
EFA-30 Sensor holder
MY2N-CR DC 24 V Relay
Chemical cabinets:
CC1-SPM
CC2-SC-1
E-Flow
(4) Cooling tanks
Power rack
Missing parts:
I/O Board
H/D
2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100 습식 스테이션은 표본 준비를위한 통제 된 환경을 만드는 데 사용되는 실험실 등급 기기입니다. 이 장치는 물과 같은 많은 양의 액체 (liquid) 를 사용하며 첨단 제조, 식품 가공, 생물학적 테스트 등 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. DNS SU-3100 (DNS SU-3100) 은 공기 전달과 흡입 사이의 정확하고 조절 가능한 균형을 제공하도록 설계되어, 정확한 실험 결과를 위해 안정적이고 균일 한 온도 범위를 만듭니다. 습식 "스테이션 '은 두 개 의 목욕탕 을 사용 하는데, 그것 은 내부 통합 과정 을 이용 하여 액체 를 고르게 순환 하는 별개 의 부분 으로 나뉜다. 이 두 목욕탕의 조합은 제어 환경을 만들어 내는데, 이는 섭씨 2 ~ 15도까지 조정할 수 있습니다. 다인피폰 SU 3100 (DAINIPPON SU 3100) 의 내장 수순환 시스템은 사용자에게 표본 성장에 대한 정확한 관찰을 제공하고, 선택의 꾸준한 온도를 유지하도록 설계되었습니다. 사용자는 단순히 공기 전달을 조정하여 표본의 정확한 온도를 유지합니다. 통합 제어판 (Integrated Control Panel) 을 사용하면 필요에 따라 수온을 모니터링하고, 매개변수를 설정하고, 보고서를 받을 수 있습니다. 사용자는 공기 전달 설정 (air delivery settings) 을 조정하여 테스트 챔버를 둘러싼 실내 온도 (air temperature) 를 조작할 수도 있습니다. 젖은 "스테이션 '은 또한 품질 관리 에 중요 한 역할 을 하는데, 그 이유 는 제품 의 정확성 과 안전 을 보장 하는 데 도움 이 되는 습한 환경 을 유지 하기 때문 이다. 모든 성분은 부식 내성 물질로 만들어져 수중에 장기적으로 노출 될 수 있습니다. DAINIPPON SU-3100은 사용자 친화적이고 조절 가능한 컨트롤 패널과 간편한 읽기/읽기 백라이트 LCD 디스플레이를 포함하는 종합적인 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치 는 대부분 의 액체 "타입 '과 호환 되며, 다양 한 표본 들 과 함께 사용 할 수 있다. 결론적으로, DNS/DAINIPPON SU 3100 습식 스테이션은 표본을 준비하기 위해 통제 된 환경을 만들기 위해 공기 전달과 흡입 사이의 정확하고 조절 가능한 균형을 제공합니다. 따라서 사용자의 요구 사항에 따라 습하거나 건조한 온도를 쉽게 유지할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 산업에 적합하며 장기적인 용도로 설계되었습니다.
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