판매용 중고 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9361457

DNS/DAINIPPON SU-3000 습식 스테이션은 반도체 웨이퍼 및 마스크와 같은 기판을 효과적으로 제작하기 위해 설계된 고성능 프로세스 툴입니다. 이 습식 스테이션 (Wet Station) 은 최신 기술의 발전을 통합하고 최고의 정밀 처리 기능을 제공합니다. DNS SU-3000 습식 스테이션 (wet station) 은 마이크로 에칭 프로세스의 정밀성이 필요한 애플리케이션에 이상적이며, 신뢰할 수 있는 플랫폼을 제공하고 표준 업계 관행에 맞게 프로세스를 조정하는 데 이상적입니다. DAINIPPON SU 3000은 XY-Drive 모듈, 브러쉬 없는 스핀들 모터 (Brushless Spindle Motor) 등 다양한 고성능 프로세스 툴과 기능을 제공하며, 이는 높은 토크 기능과 진동을 최소화하는 고속 스핀들 어셈블리를 제공합니다. 통합 컨트롤러는 다중 웨이퍼 로트에 대한 수동 및 자동 로드/언로드, 자동 흐름 제어를 위한 PLC 로직을 지원합니다. 또한, 컨트롤러는 프로세스 모니터링을 지원하므로 사용자가 추가 처리를 수행하기 전에 인라인 웨이퍼 두께를 모니터링할 수 있습니다. DAINIPPON SU-3000 플랫폼의 컴팩트한 인체 공학적 설계는 플래튼, 전면 도어, 케이스를 포함한 모든 구성 요소 및 시스템 구성 요소에 대한 탁월한 액세스를 제공합니다. 각 시스템에는 지그가 포함되어 있으므로 쉽게 처리하고 기판을 자동으로 로드할 수 있습니다. 지그는 또한 기판 정렬 및 복잡한 프로세스 제어에 대한 클램프 역할을합니다. 습식 스테이션은 쿠션 및 지체층 리소그래피, 에폭시 방향 절단, 화학적 기계적 평면 화 (CMP) 및 화학 에칭을 포함한 광범위한 프로세스를 지원합니다. 이 장치의 빠른 잠금 플랫폼은 처리 중에 기판이 완벽하게 유지되도록 보장합니다. DNS SU 3000은 또한 화학 및 기계 스크러빙, 화학 연마, 과산화수소 산화 등 다양한 고성능 화학 전 처리를 제공합니다. SU 3000 습식 스테이션 (wet station) 은 다양한 기능과 성능을 제공하여 높은 수준의 습식 (wet-process) 분석을 위한 최적의 선택입니다. 이 플랫폼은 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 솔루션은 광범위한 습식 처리 (wet processing) 애플리케이션에 적합합니다.