판매용 중고 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9302273

DNS/DAINIPPON SU-3000 (DNS/DAINIPPON SU-3000) 은 석판 제작에 사용되는 습식 스테이션으로, 다양한 기판에 높은 생산성을 제공합니다. 소형 고속 디자인은 포토 마스크 및 장치 개선에 이상적입니다. DNS SU-3000은 정확하고 반복 가능한 결과와 뛰어난 다양성을 제공합니다. 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 수용 할 수있는 웨이퍼 스테퍼 시스템 (wafer stepper system) 이 장착 된 8 인치 기계식 웨이퍼 처리 장비를 갖추고 있습니다. Si 기판 스캔 및 패턴 장치는 서브 미크론 제어와 함께 매우 정확합니다. 공정의 정밀도는 하이엔드 Focus and Exposure Head에 의해 향상됩니다. 즉, Step and Repeat 광원이 내장되어 있어 공정을 빠르고 효과적으로 조정할 수있는 노출 사이에서 신속하게 전환할 수 있습니다. 공구의 고정밀 기계적 지그 (mechanical jig) 설계는 높은 수준의 단계 정확도와 패턴 해상도를 제공합니다. 에셋에는 웨이퍼 (wafer) 나 부품을 검사하는 CCD 카메라가 포함되어 있으며 자동 (automated) 또는 수동 (manual) 검사에 사용할 수 있습니다. "카메라 '는" 컨트롤' 모델 과 완전 히 통합 되어 "이미지 '보기 와 분석 을 정확 히 제어 할 수 있다. 장비에는 DI 펌프 (DI pump) 도 포함되어 있는데, 이 펌프는 스테이션의 작업을 중단하지 않고 시스템을 청소할 수 있도록 하는 클리닝 장치 (cleaning unit) 에 연결되어 있습니다. DAINIPPON SU 3000은 또한 에칭 및 청소에 사용될 수있는 황화 수소 및 과산화수소 기반 제를 포함한 다양한 화학 물질과 호환됩니다. 이 워크스테이션은 사진 (photolithography), 인쇄 (printing) 및 제작 (fabrication) 프로세스에 이상적인 높은 수준의 정확성과 정확한 성능을 제공합니다. Wet Station 은 손쉽게 확장할 수 있을 뿐 아니라, 구성 가능한 (Configurable) 스테이션으로, 특정 요구 사항에 맞게 장치를 사용자 정의할 수 있습니다. 유지 보수가없는 디자인으로, 젖은 스테이션은 계속 실행하기 위해 최소한의 노력이 필요합니다. 습식 스테이션 (Wet Station) 은 또한 낮은 실행 비용을 제공하여 석판 촬영 및 제작 프로세스를위한 경제적 인 솔루션입니다.