판매용 중고 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9221903

DNS/DAINIPPON SU-3000은 반도체 장치 생산에 사용되는 캐리어, 웨이퍼 및 키요 (Kiyo) 와 같은 기판을 세탁하기 위해 설계된 습식 스테이션입니다. 이 스테이션은 완전하게 자동화된 장비로, 운영자의주의를 최소화하면서 완벽한 운영을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 탱크 칸으로 구성되어 있으며, 탱크, 콘센트 배수 트레이, 버블 리무버, 액체 레벨 컨트롤러 및 오버플로 경보로 구성됩니다. "탱크 '구획 은 순환 장치 의" 웨이퍼' 처리 환경 역할 을 한다. 역의 순환 부분은 순환 펌프, 압력 및 흐름 미터 (pressure and flow meter), 가열 회로 및 기판을 수용하는 티타늄 챔버 (titanium chamber) 로 구성됩니다. 약실은 온도 조절 (temper controlled) 으로 온도, 압력 및 유속을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 웨이퍼 순환은 최적의 결과를 위해 압력/흐름 미터를 통해 모니터링됩니다. 챔버 (chamber) 와 순환 기계 (circulation machine) 의 조합으로 웨이퍼에 존재하는 모든 오염 물질을 제거 할 수 있습니다. 이 스테이션에는 자동 자체 클리닝 사이클 (self-cleaning cycle) 과 수동으로 활성화 할 수있는 클리닝 사이클 (cleaning cycle) 도 있습니다. 스테이션은 직관적 인 터치 스크린 (touch screen) 으로 제어되며, 운영자는 사이클 설정 조정, 도구 성능 모니터링, 생산 통계 추적 등의 기능을 제공합니다. 스테이션은 최대 50 개의 레시피를 저장할 수 있으며, 여러 기판을 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 이 역은 안전 (Safety) 을 염두에 두고 설계되었으며, 비상 정지 단추 (Emergency Stop Button) 와 작동 중에 덮개가 열리면 활성화되는 안전 덮개 (Safety Cover) 가 특징입니다. 스테이션은 단상, 300VAC 전원 공급 장치 및 표준 16A 단상 콘센트에서 실행됩니다. DNS SU-3000 (DNS SU-3000) 은 다양한 기판을 처리할 수 있으므로 다양한 생산 요구에 이상적인 선택입니다. 안정적이고 사용하기 쉬운 자산으로, 최소한의 노력으로 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다.