판매용 중고 DNS / DAINIPPON SU-3000 #293591332
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ID: 293591332
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Wafer cleaner, 12"
Single wafer processing
Wet process: HF Clean
Processing unit:
Backside nozzle
(3) Fixed nozzles with holder
Splash guard
Scan nozzle home drain port
Separation box
Fluid box trap tank
Controllers:
TOSHIBA Industrial computer
Indexer robot controller
Chemical cabinet controller
YASUKAWA Servo pack
KOMATSU Thermal controller
Mass Flow Controller (MFC)
Load port controller
Solenoid controller
Drive mechanisms:
YASUKAWA Indexer robot
(3) Load ports
FOUP Mapper
YASUKAWA Center robot
Chamber shutter door
(2) Reversers
Spin base (3 Movable pins)
Shield plate
MPC Scan nozzle 1 type 3 arm
MPC Scan nozzle 2 arm
Chuck position sensor
Wafer presence
Fluid system:
(4) CSBs, 5 L
(2) Mixing tanks, 60 L
Reclaiming tanks
(3) Thermal circulators
(4) Bellow pumps
(4) Pumps
(4) Chemical circulation filters
(2) HORIBA Concentration monitors
Ultrasonic flowmeters
(2) Chemical cabinet drain trap tanks
(4) UPW Filters
E-Flow units
Resistivity meters
(4) SMC Pumps
Rotameters
Mechanical oil gauges
Digital gauge
Tank level sensors
CS Heater
EMO
Leakage sensors
Cover interlock sensors
Tower lamps
Flashing lamps
Gas system:
N2 Filters
Speed controllers
Exhaust system:
Exhaust switching boxes
FFU
Exhaust gauge
FFU Gauge
MPC 1, 2, 3 and 4:
100:1 HF, 300:1 HF, NH4OH 0.5wt%, H2O2 1wt%, CO2 Water, HPN2
Description / Power rating
AC Power cabinet with UPS / 208 V, 3 Phase
HF Chemical cabinet / 208 V, 3 Phase (49% HF)
SC1 Chemical cabinet / 208 V, 3 Phase (28% NH4OH, 30% H2O2)
LUFRAN Heater / 480 V, 3 Phase
UPS / 60 V
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3000은 매우 효율적인 화학 처리를 제공하도록 설계된 습식 스테이션입니다. 그것 은 많은 화학 과정 에 유용 하며, "액체 '와 고체 화학 물질 을 사용 하여 원하는 결과 를 낼 수 있다. 이 장치는 고급 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 정확하고 효과적인 화학 처리를 가능하게하는 조절 가능한 온도 범위를 특징으로합니다. 또한 최적 의 확장도 를 위한 공랭식 "모우터 '를 갖추었으며, 더 많은 제어 를 위한 조정 가능 한 유속 을 가지고 있다. DNS SU-3000은 또한 효율적인 3D 다용도 원심 분리기 장비를 갖추고 있으며, 다양한 화학 샘플을 처리하고 에멀션, 크림, 연고, 서스펜션 및 기타 제품을 포함한 다양한 최종 제품을 생산할 수 있습니다. 이 장치는 순수한 화학 물질, 원료, 중급 제품, 최종 제품 등 다양한 입력 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 기계에는 부품 부식을 방지하는 보호 레이어 (Protection Layer) 를 포함하여 안전 기능이 있습니다. 또한, 이 장치는 다양한 안전 차단 조치 (safety-off measures) 와 내장 경보 시스템으로 설계되었습니다. DAINIPPON SU 3000 (DAINIPPON SU 3000) 은 단순하지만 신뢰할 수 있는 사용자 인터페이스로 설계되어, 운영자가 작업을 손쉽게 모니터링하고 매개변수를 빠르고 정확하게 조정할 수 있도록 합니다. 이 기계는 또한 입력 재료와 프로세스를 쉽게 관리할 수 있는 간편한 로딩 장치 (easy-loading unit) 를 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치는 다양한 제어 시스템에 대한 여러 액세스 지점을 제공하여, 매우 안정적이고 확장성이 뛰어납니다. 대니폰 SU-3000 (DAINIPPON SU-3000) 은 정교한 화학 공정을 수행하고 원하는 최종 제품을 생산하여 화학 가공을위한 훌륭한 도구입니다. 이 습식 스테이션은 혼합, 혼합, 균질화, 분리, 증류 및 여과에 이르기까지 다양한 화학 공정에서 고품질, 일관된 결과를 생성하는 데 이상적입니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 의 견고 한 구조, 안전, 종합 "컨트롤 '장치 는 많은 화학 가공 장치 를 위한 훌륭 한 선택 을 한다.
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