판매용 중고 DNS / DAINIPPON / SCREEN WS-820L #9389670
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ID: 9389670
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Wet station, 8"
PLC Damaged
Acid tank
Controller
QUARTZ
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN WS-820L Wet Station은 반도체 사진 촬영 및 기타 프로세스에 사용되는 다기능, 고정밀 자동 습식 프로세스 박스입니다. 이 장비 는 "반도체 '" 웨이퍼' 를 정확 한 정확도 로 여러 가지 화학적 치료 를 통해 처리 하도록 설계 되었다. 기본 캐비닛 유닛과 4 개의 첨부 옵션 캐비닛으로 구성됩니다. 주 캐비닛에는 각각 카세트 시스템 (cassette system) 또는 통합 화학 공급 장치 (integrated chemical supply unit) 로 구성된 12 개의 독립적 인 화학 용기/공정 시스템이 있습니다. 이러한 프로세스에는 습식 에칭, 애싱 및 클리닝이 포함될 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 화학 재확보 도구, 화학 슬러지 저장 및 관리 장치, 내장 제어 자산 및 터치 패널 디스플레이 (touch-panel display) 가 포함되어 있습니다. 또한 DNS WS-820L 은 효율적이고 정확한 운영을 보장하는 다양한 기능을 제공합니다. 동시에 최대 18 개의 300mm 웨이퍼를 처리 할 수있는 용량이 있으며, 최대 1 리터의 다양한 화학 물질을 수용 할 수 있습니다. 유출 가능성을 경고하는 알람 (alarm) 이 있으며, 유출 시 화학적 노출을 방지하기 위해 다양한 보호 모드를 제공합니다. 또한 터치 패널 디스플레이를 사용하면 작동과 시각화를 쉽게 수행할 수 있습니다. 안전 기능에는 화학 용기 뚜껑의 우발적 개방을 방지하는 인터 록 (interlock) 과 센서 (sensor) 가 포함됩니다. SCREEN WS-820L에는 정확성과 안정성을 보장하는 여러 제어 기능도 있습니다. IC 테스터, 데이터 수집기 및 기타 장치에 연결할 수 있는 아날로그 및 디지털 입력, 출력을 제공합니다. 또한 맞춤형 레시피로 최대 30 개의 동시 프로세스를 지원할 수 있습니다. 또한, 다른 카메라 및 이미지 분석 시스템에 연결할 수 있습니다. 전반적으로 WS-820L 습식 스테이션 (Wet Station) 은 에칭, 애싱 및 청소 프로세스를 통해 반도체 웨이퍼를 효율적이고 정확하게 처리하도록 설계된 고정밀 자동 습식 프로세스 박스입니다. 재확보 모델, 제어 장비, 터치 패널 디스플레이 (touch-panel display), 안전 기능 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 아날로그 및 디지털 입력, 출력, 맞춤형 레시피로 30 개의 동시 프로세스를 지원하는 기능을 제공합니다.
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