판매용 중고 DNS / DAINIPPON MP-3000 #9127747

DNS / DAINIPPON MP-3000
ID: 9127747
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Metal wet etch, 12" Separation unit: (5) Chemical cabinets: CC1 CC2 CC3 CC5 MU (2) Local chemical supplies: TK CSU Controller: UPIBOC-III MEIDEN ID Robot: YASKAWA XU-RCM 5400 TR Robot: Komatsu HGR-62-D Temp. controller: Yaskawa XU-CM 5800 Teach pendent Signal tower: (3) Colors (GYWR) Type: PATLITE LED Power supply: 200V, 3 Phase, 33kVA, 94A, 50Hz (Main break: 125A) 2003 vintage.
DNS/DAINIPPON MP-3000은 반도체 장치를 제조하는 데 사용되는 고급 습식 처리 스테이션입니다. 이 시스템은 생산과 관련된 비용을 최소화하면서 효율성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 방송국은 데가 장치 (degas unit), 스핀 린스 건조기 (spin rinse dryer), 화학 농도 모니터 (chemical concentration monitor) 및 화학 분배 장치 (chemical distribution unit) 를 포함한 여러 개별 장비의 기능을 하나의 작업 스테이션으로 결합합니다. 특히 이 스테이션을 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있으므로, 여러 단계를 필요로 하는 프로세스에 유용합니다. "데가 '단위는 끓임과 열유발 기화작용에 의해 물과 같은 액체에서 불순물을 제거하는 데 사용된다. 이것은 생산 환경을 깨끗하게 유지하고 오염 물질을 무료로 유지하는 데 도움이됩니다. 스핀 린스 건조기 (Spin Rinse Dryer) 는 원심력을 사용하여 동일한 주기에서 빠르고 깨끗하게 완충 및 건조합니다. 최적 청소를 위해 산, 알칼리, 세제를 포함한 다양한 화학 물질을 사용할 수 있습니다. 화학 농도 "모니터 '는 적절 한 양 과 종류 의 화학 물질 을" 웨이퍼' 에 첨가 하도록 설계 되었다. 이것 은 "액체 '의 여러 가지 성분 농도 를 측정 하고 화학적 농도 를 조정 할 필요 가 있다면" 오퍼레이터' 에게 경고 함 으로써 달성 된다. 화학 분배 장치 는 화학 물질 을 안전 하고 정확 하게 분배 하기 위해 화학 "모니터 '와 함께 작용 한다. 따라서 수작업 (manual measuring) 과 분배 (dispensing) 가 필요 없게 되어 오염의 기회가 줄어듭니다. 많은 기능 외에도, DNS MP-3000 은 작동하기 쉽고, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 운영자가 필요에 따라 신속하게 설정을 조정할 수 있습니다. 이러한 설정을 저장하여 향후 프로세스에 재사용할 수 있습니다. 전반적으로 DAINIPPON MP3000은 반도체 생산 라인에 혜택을 줄 수있는 현대적인 습식 스테이션입니다. 기능과 기능의 조합은 안정적이고 효율적인 선택입니다.
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