판매용 중고 DNS / DAINIPPON MP-3000 #9095610

DNS/DAINIPPON MP-3000은 반도체 웨이퍼의 벤치 상단 처리를 위해 설계된 습식 스테이션입니다. "와퍼 '기판 을 질소 환경 하 의 통합 공정" 챔버' 로 청소 하거나 말리는 데 사용 된다. 습식 스테이션에는 최대 15 사이클과 50 개의 프로그램 레시피를 절약 할 수있는 독특한 자동 프로그래밍 가능한 프로세스 컨트롤러가 있습니다. 이를 통해 DNS MP-3000은 표준 또는 프로세스별 사이클 레시피를 빠르고 효율적으로 개발하고 반복 할 수 있습니다. 저산소 환경은 로우 프로파일 다이 부착 프로세스를 보장하는 반면, 조정 가능한 온도 범위 인 -55 ° C ~ 200 ° C는 열 활을 유발하지 않고 최적의 에치 속도를 보장합니다. DAINIPPON MP3000에는 3 개의 독립적 인 린스 스테이션과 2 개의 캐비테이션 시스템이 장착되어 있어 일관된 습식 공정 웨이퍼 청소가 가능합니다. 린스 스테이션은 고정 반복 린스 타이밍 (Fixed Repeat Rinse Timing) 또는 개별 린스 (Rinse) 마다 독립적 인 리피터 스테이지로 조정 할 수 있습니다. 공동 시스템은 유기 잔기를 빠르고 효율적으로 분해하는 분자 수준의 거품 상호 작용을 만듭니다. 사이클 프로세스 (cycle process) 에는 습식 화학 공정 후 기판을 건조시키는 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 포함되어 있어 빠르고 효율적인 사이클 일관성이 가능합니다. MP3000은 또한 수동 및 자동 덮개 개방형/닫기 기능과 높은 프로세스 품질을 유지하기 위한 통합 Leak Gauge Control을 제공합니다. 배수 오버플로 보호 (Drain Overflow Protection) 는 물 누출을 방지하는 반면, 재순환 여과 시스템은 광범위한 클리닝 제에 대한 비용 효율적인 프로세스 제어를 가능하게합니다. 통합 웨이퍼 보우 보정 시스템은 긴 공정 시간 없이 우수한 기판 평탄성을 제공합니다. 습식 스테이션에는 직관적인 사용자 친화적 인 터치 스크린 컨트롤 (touch screen control) 이 있어 레시피 설정 및 작동이 간단하고 효율적입니다. DNS/DAINIPPON MP3000에는 최대 2,000 개의 레시피와 200 세트의 생산/수율 데이터를 저장할 수있는 대용량 메모리 용량을 갖춘 내장 PC 시스템이 있습니다. 또한 강력한 데이터 관리 기능을 위한 통합 커뮤니케이션 옵션도 제공합니다. 종합적인 디자인은 뛰어난 웨이퍼 표면 청결 및 균일 성, 최적화 된 기질 평평, 뛰어난 사이클 일관성을 보장합니다.