판매용 중고 DNS / DAINIPPON FS-820L #9173463
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ID: 9173463
빈티지: 1997
Wet station
S/D
ONB1
ONB2
ONB3
H2O2
HCL
HF
Chlorine
Dual megasonic baths
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON FS-820L은 구리 또는 알루미늄 기판을 처리하도록 설계된 습식 스테이션입니다. 이 젖은 "스테이션 '에는 높은 수준 의 기판 청결 을 이루기 위하여 유체 전달" 시스템', 화학 "욕조 '및 인라인' 여과 를 혼합 하여 갖추었다. 습식 스테이션에는 2 개의 펌프가 장착되어 있으며, 최대 4 l/min의 흐름을 수용 할 수 있습니다. 펌프 (pumps) 는 산 및 염기 용액을위한 저수지와 잘 설계된 믹싱 챔버 (mixing chamber) 를 포함하는 주 습식 스테이션 영역에 조건부 용액을 제공합니다. 믹싱 챔버 (mixing chamber) 에는 욕조의 온도를 측정하고 제어하기 위해 열전대 (thermocouple) 가 장착 된 프로브가 있습니다. 또한, 혼합 챔버 (mixing chamber) 를 린스 욕조로 사용할 수 있으며, 기판 청소 후 자동으로 채울 수 있습니다. 목욕 구역 에는 다공성 물질 이 늘어서있어, 서 있는 방울 과 관련 된 문제 들 을 방지 한다. "챔버 '의 바닥 은" 드레인' 과 내부 "필터 '로 설계 되어 모든 용액 을" 욕조' 에 들어갈 수 있는 입자 와 완전 히 분리 시킨다. 습식 "스테이션 '에는 뜨겁고 차가운 물 이 연결 되어 있어서, 기판 을 청소 하고" 린스' 할 수 있다. 또한, 이 스테이션에는 기판의 일관된 청결성을 보장하기위한 인라인 여과 시스템 (inline filtration system) 도 포함되어 있습니다. 여과 "시스템 '은 직경 200" 미크론' 정도 의 작은 입자 를 포착 하도록 설계 된 "필터 '원소 로 구성 되어 있다. 여과 후, 용액은 주 목욕 영역으로 반환됩니다. DNS FS-820L 습식 스테이션은 뛰어난 디자인 외에도 다양한 안전 기능을 제공합니다. 몇 가지 긴급 차단 (emergency shut-off) 스위치가 장착되어 있으며, 경보 시스템에 의해 목욕 온도가 모니터링됩니다. 또한, 목욕탕은 유해한 냄새를 최소화하기 위해 장착 된 환기 팬이있는 안전한 캐비닛 (secure cabine) 에 보관되어 있습니다. 전반적으로 DAINIPPON FS-820L 습식 스테이션은 구리 또는 알루미늄 기판 처리에 적합한 선택입니다. 견고 한 "디자인 '과 고급 기능 을 통해 기판 이 철저 히 청소 되고 오염 물질 이 없도록 할 수 있다. 안전 기능이 내장되어 있고 휴대성이 뛰어나는이 습식 스테이션 (Wet Station) 은 모든 산업 분야에 적합한 옵션입니다.
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