판매용 중고 DNS / DAINIPPON FS-820L #9026293
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ID: 9026293
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Wet station, 8"
S/D
ONB1
PCB1
PCB2
CSB1
Chlorine
CSB2 H2SO4
CSB3 H2O2
CSB4 H3PO4
Dual megasonic baths
SDR
1996 vintage.
DNS/DAINIPPON FS-820L 습식 스테이션은 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 고급 습식 가공 머신입니다. 이 제품은 웨이퍼 레벨 (wafer level) 및 칩 레벨 (chip-level) 프로세스를 모두 처리하여 프로세스 유연성과 처리량을 높일 수 있습니다. DNS FS-820L의 주요 기능은 고급 수력 분할 기술입니다. 이 기술을 통해 사용자는 높은 수준의 프로세스 반복성, 낮은 수준의 웨이퍼 워프 (wafer warp) 및 입자 오염을 달성 할 수 있습니다. 또한 process-on-demand 기능을 통해 빠르고 정확한 프로세스를 실행할 수 있습니다. DAINIPPON FS-820L의 핵심은 5 단계의 청소, 건조 및 IPA 린싱이있는 Splitting Module이며, 각 개별 프로세스에 맞게 조정됩니다. 분할 모듈 (Splitting Module) 은 최고 수준의 클리닝, 건조 및 IPA 링 성능을 가능하게 하여 완벽한 최종 제품을 제공합니다. 또한, GlaCeraTM 솔루션은 순수한 물을 안정적이고 초저온으로 유지하여 누출을 방지하고 깨끗함을 보장합니다. 또한 FS-820L에는 3 단계의 프로세스가있는 Loading Arm Module이 포함되어 있으므로 프로세스를 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 모듈은 로드 포트, 엔드 이펙터, 평면 배터리 제거/설치와 같은 프로세스를 자동화합니다. 또한 습식 스테이션은 LCD (Enhanced User Interface with LCD) 및 능률화된 프로세스 설정을 위한 사용자 정의 가능한 버튼 (Customizable Button) 과 같은 다양한 기능을 제공합니다. 제어, 데이터 수집 및 프로세스 추적성을 위한 직관적인 소프트웨어 패키지. 전반적으로 DNS/DAINIPPON FS-820L 은 효율적이고 안정적인 처리 시스템으로, 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 프로세스 효율성을 극대화하고, 웨이퍼 워프를 최소화하고, 최적의 입자 오염 수준을 보장하도록 설계되었습니다. 고급 기능, 유연한 프로세스 기능, 직관적인 설계를 갖춘 DNS FS-820L 은 반도체 업계에 이상적인 툴입니다.
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