판매용 중고 DNS / DAINIPPON FS-820L #293753902

DNS/DAINIPPON FS-820L은 습식 공정 응용 프로그램을 위해 설계된 습식 스테이션입니다. 이 습식 스테이션 (Wet Station) 은 연구와 생산의 요구를 충족시키는 완벽하고 안정적인 프로세스 솔루션을 제공합니다. 스테이션은 습식 스테이션 바디, 챔버, 웨이퍼 트레이 및 컨트롤러를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 습식 스테이션 본체는 고체, 부식 내성 스테인리스 스틸 베이스와 고온 내성 상단 덮개로 구성됩니다. 챔버는 온도 범위가 10 ~ 180 ° C 인 공정 챔버 (습도 범위 0 ~ 60%) 의 두 섹션으로 나뉩니다. 챔버 (Chamber) 에는 작동 중 최적의 챔버 조건을 제어하고 유지하는 통합 챔버 환기 시스템이 있습니다. 습식 스테이션 (Wet Station) 에는 5 개의 조정 가능한 트레이가있는 대형 트레이 테이블이 포함되어 있으므로 사용자가 동시에 최대 5 개의 다른 웨이퍼를 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 컨트롤러는 습식 스테이션 (wet station) 의 중앙 장치이며 수동 (manual) 및 자동 (automated) 습식 프로세스를 모두 지원하도록 설계되었습니다. 온도와 습도와 같은 공정 매개변수 (process parameter) 를 제어하고, 샘플 처리를 위해 로봇 암의 동작을 제어할 수 있습니다. 컨트롤러는 최대 32 개의 레시피를 프로그래밍할 수 있으며, 최대 64 개의 프로세스 단계를 허용합니다. 습식 스테이션에는 PC 소프트웨어 (PC 소프트웨어 포함) 가 내장되어 있어 프로세스 조건과 프로세스 결과를 데이터 로깅 및 분석할 수 있습니다. 습식 스테이션은 설치하고 작동하기 쉽습니다. 설치 공간이 작으며 모든 프로덕션 설정에 배치 할 수 있습니다. 스테이션은 CE 및 UL 인증을 받았으며 산업 용도에 이상적입니다. DNS FS-820L은 습식 처리를 위한 안정적이고 효율적이며 비용 효율적인 프로세스 솔루션입니다.