판매용 중고 DNS / DAINIPPON FS-820L #293597789
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ID: 293597789
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Wet station, 8"
A / Box
Main body
Front loader
S/D
ONB1
PCVB1
PCB1
PCB2
CSB1
H202
SUB-CSB
H2S04/H202
Power cabinet
Aspirator
PRETECH PT-08M Finesonic generator
DI Water heater
ULTAS PT Generator 06BSV
Robot loading
Dyal megasonic bath
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON FS-820L은 정확한 청소 및 린싱을 제공하는 반도체 장치 제조를위한 습식 스테이션입니다. 이 젖은 스테이션은 솔로 및 배치 제작에 적합합니다. DNS FS-820L은 실리콘 웨이퍼, 테이프, 필름, 유리 등 다양한 재료를 정확하게 세탁합니다. 8 대의 탱크가 장착되어 있으며, 한 스테이션에서 다양한 청소 단계를 동시에 처리 할 수 있습니다. DAINIPPON FS-820L은 작동이 편리한 제어판, 지속적으로 조절 가능한 탱크 온도, 실시간 데이터 모니터링 등의 기능을 통해 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 청소 공정 (cleaning process) 의 자동화된 작동 및 정확한 제어를 지원하는 청소 모니터 (cleaning monitor) 장비가 장착되어 있습니다. 모니터 시스템 (Monitor System) 을 사용하여 클리닝 작업이 효과적으로 완료되는지 여부를 확인할 수 있습니다. FS-820L 은 흐름 속도 제어 (Flow Rate Control) 및 집중 제어 시스템 (Concentration Control System) 을 사용하여 클리닝 솔루션의 희석을 최적화하여 일관된 마무리를 보장합니다. 또한 물 사용 모니터링 장치 (Water Usage Monitoring Unit) 를 사용하여 각 프로세스에 적합한 물 흐름 속도를 설정하여 물 사용을 최소화 할 수 있습니다. DNS/DAINIPPON FS-820L의 린스 시간은 0.5 초에서 99 초로 조정할 수 있습니다. 또한 프로세스 제어의 모든 요구를 충족시키기 위해 주변 온도 (ambient ~ 99 ') 의 다양한 온도 설정을 제공합니다. 재료의 혼합을 막기 위해 모든 탱크에는 EIS (Easy Identification Machine) 가 설치되어 있습니다. 이 도구를 사용하면 각 탱크에 Tank ID를 사전 할당하여 쉽게 식별할 수 있습니다. DNS FS-820L은 또한 강력한 공기 및 유체 밸브 제어 에셋을 제공하여 거품의 정밀 투여, 방조, 제거를 지원합니다. 또한 스테이션에서 처리 객체의 위치를 기록한 플랫폼 모니터 (실시간) 가 포함되어 있으며 온도, 흐름 속도, 희석 (희석) 도 기록합니다. 안전성을 보장하기 위해 DAINIPPON FS-820L (FS-820L) 에는 장비의 깨끗함과 안정성을 보장하는 고급 모니터링 모델이 장착되어 있습니다. 또한 자동 pH 조정 시스템, 산-네스터 및 방부 제거 장치 (de-aeration unit) 를 포함하는 산 대책이 포함되어 있으므로 사용자 안전이 보장됩니다. 결론적으로, FS-820L은 Easy Identification Machine, 흐름 속도 제어, 농도 제어, 강력한 공기 및 유체 제어 등의 유용한 기능을 갖춘 반도체 장치 제조 습식 스테이션입니다. 조정 가능한 탱크 온도 및 시간 초과 설정으로 인해 솔로 (Solo) 및 배치 (Batch) 생산에 적합합니다. 고급 모니터링 도구 (Advanced Monitoring Tool) 는 안전과 청결을 보장하여 반도체 장치 제조에 이상적입니다.
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