판매용 중고 DNS / DAINIPPON FS-820L #293592680
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ID: 293592680
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Wet station, 8
S/D
ONB1
ONB2
ONB3
CSB1 Chlorine
CSB2 H202
CSB3 HF
CSB4 HCL
CSB5 HF
Chemicals: H202, HCL, HF, Choline
Power cabinet
Aspirator
PRETECH PT-08M
DI Water heater
ULTAS PT Generator 06BSV
Dual megasonics
Robot loading
1997 vintage
DNS/DAINIPPON FS-820L 습식 벤치 스테이션은 소형 및 대형 기판을 모두 처리하기위한 테이블 탑 클린 룸 장비입니다. 전기 도금, 습식 에칭, 포토 esist 스트립 등 다양한 웨이퍼 기반 응용 프로그램에 대한 고품질 프로세스 결과를 제공합니다. DNS FS-820L은 실험실, 특히 수동 또는 자동 펌프 선택으로 인해 이상적입니다. 이 습식 벤치 스테이션 (Wet Bench Station) 에는 프로그래밍 가능한 안전 시스템과 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 포함 된 자동 프로세스 제어가 제공됩니다. 이렇게 하면 사용자가 프로세스 매개변수를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. DAINIPPON FS-820L 습식 스테이션의 주요 구성 요소는 메인 프레임, 메인 탱크, 뒷면 탱크, 오버플로 탱크, 폐기물 탱크, 브론즈 메쉬 트레이 및 다수의 옵션 탱크입니다. 주 "탱크 '는 침수" 탱크' 라고도 하며 가공 중 에 부품 과 액체 를 보유 하고 있다. 스테인리스 스틸로 만들어졌으며, 미리 결정된 온도를 유지하기 위해 절연되어 있습니다. "스테인레스 '강철 로 만든 뒷면" 탱크' 는 침수 "탱크 '와 오버플로" 탱크' 를 잡는 데 사용 된다. 또한, 청동 메시 트레이 (bronze mesh tray) 는 유체정역학적으로 정지된 부품 레벨을 탱크 바닥에서 유지하도록 도와주며, 공정 중에는 움직이지 않습니다. 오버플로 탱크 (overflow tank) 는 메인 탱크를 통과시키는 도금 솔루션을 복구하도록 설계된 후 재사용됩니다. 폐기물 탱크는 오염 된 솔루션 및 비 혼합 도금 솔루션의 효과적인 처리에 사용됩니다. FS-820L 습식 스테이션에는 또한 스테이터 액체의 온도, 압력, 유속 (flow-rate) 을 제어하는 데 사용되는 DI 물 및 재순환 펌프, 프로세스 컨트롤러 및 전원 막대와 같은 다른 보조 구성 요소가 포함됩니다. 또한 DNS/DAINIPPON FS-820L에는 공압 작동 막 환승 스테이션이 장착되어 있습니다. (PHP 3 = 3.0.6, PHP 4) 플러싱 장치 (flushing unit) 도이 스테이션과 통합되어 고정체 액체의 오염 수준을 제어 할 수 있습니다. DNS FS-820L 습식 벤치는 모듈식 아키텍처로 설계되었습니다. 따라서 사용자의 요구 사항과 예산에 따라 구성 요소를 추가할 수 있습니다. 이 스테이션은 또한 다양한 스테이터 (stator) 와의 호환성을 제공하도록 설계되었으며 사용자 안전을 고려합니다. 첨단 수여과기 (Advanced water filtration machine) 는 오염 물질을 줄이는 데 도움이되고 내장 된 DI 물은 프로세스를 빠르고 효율적으로 만듭니다. DAINIPPON FS-820L (DAINIPPON FS-820L) 은 에너지 효율이 높은 습식 스테이션으로, 광범위한 웨이퍼 처리 어플리케이션의 요구를 충족하는 완벽한 자동화 솔루션을 제공합니다.
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